（文章來源：百家號）

芯片制造已經被多國列為核心機密技術，華為麒麟芯片7nm技術的突破，為華為手機的創新扳回一城，尤其是雙11手機銷售，可以與蘋果叫板的只有華為了，畢竟華為大部分手機都是使用自己的芯片，而國產其它的手機，比如小米、ov使用的芯片都屬于高通系產品，在美國貿易戰之下，華為為國產芯注入了活力，支持度也是相當高的，所以華為手機目前成了果產當之無愧的老大哥了。

由此可見，在芯片的研發上，誰能先人一步，就會在手機市場上叱咤風云，正是由于華為的芯片技術，在手機上成本上才大為縮減，從而才能讓利于老百姓。使用高通芯片的手機廠商都在為高通打工，老百姓買手機的成本也是大為增加。但芯片的制造要依賴于光刻機，目前我國光刻機的技術研發還屬于一個短板。

近期ASML推遲交付給我國中芯科技7nm的EUV極外紫光光刻機引來大家的熱議，阿斯麥屬于目前世界頂級的光刻機研發制造廠商，目前的成熟技術是7nm光刻機，而且已經投入使用，比如三星、臺積電都在用這款光刻機生產7nm芯片，而我國的中芯國際在去年給阿斯麥公司付款1億多美元購買的光刻機卻遲遲不給供貨，這讓大家的目光再一次聚焦到光刻機技術的研發上了。

要知道阿斯麥光刻機屬于定點供貨產品，只有加入該研發聯盟的股份，才有資格提前享受最先進的光刻機，因為阿斯麥的研發上得益于很多芯片巨頭的資金投入，研發經費海量，可以廣泛搜羅全球頂級研發人員為之服務，這也是其技術一路領先別的廠商的原因，甚至很多以前做光刻機的公司，覺得投入與產出不匹配，都紛紛放棄轉而成為阿斯麥的光刻機投資同盟。

我國對于光刻機的研發也是出于初級階段，有上海微電子目前的90nm技術的光刻機，還有中芯國際的光刻機產品，由于我國是芯片消耗大國，但卻不是生產大國，核心技術都被國外公司牢牢把控，導致每年花在芯片上的資金一直居高不下。

去年中科院通過驗收的22nm光刻機是其7年技術攻關的結果，這也是國產一代機器，22nm工藝指的是一次曝光成型的，理論上可以通過這個光刻機多次曝光生產10nm的芯片，但要趕上荷蘭的7nm還是有非常大的技術困難。至少還需要4代約20年才能跟上ASML的技術水平。

荷蘭的光刻技術采用的是通過縮小光的波長來減少衍射效應帶來的精度損失，隨著精度不斷地提高，工藝難度機器成本也越來越大，這個衍射效應的存在，導致其精度也存在著上限。我國研發光刻機其實并沒有走ASML的老路，畢竟中間會存在技術壁壘和專利糾紛，我們則是同時投資不同的技術，22nm技術使用的是表面等離子體光刻。

我國的22nm技術沒有使用荷蘭的原有技術，在研發上也不會存在衍射效應，屬于獨辟蹊徑，天花板更高，但由于這臺光刻機無法做到超高精度對準，雖然可以使用光柵、晶體陣列來進行制造，但無法用復雜IC圖案制造，與ASML還有很大的距離。目前這款光刻機還很粗糙，無法投入商用，但它的原理和上限要高于ASML的光刻機，只要進行不懈的努力，超越國外的光刻機也不是難事。
（責任編輯：fqj）