0 引言

近年來，空氣質量監測越來越受到人們的重視，國內外的眾多企業與研究機構在氣體傳感器研發領域取得了長足進步，目前氣體傳感器正向集成化、智能化、多參數檢測的方向迅速發展。日本FIGARO公司開發生產的系列半導體氣體傳感器代表了目前氣體傳感器領域最新的水平，為研究開發空氣質量監測系統創造了有利條件，提供了一條簡單而實用的途徑。

1 半導體氣敏傳感器及其特性

半導體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導體（主要是金屬氧化物）表面接觸時，產生的電導率等物性變化來檢測氣體。半導體氣敏器件被加熱到穩定狀態下，當氣體接觸器件表面而被吸附時，吸附分子首先在表面自由地擴散（物理吸附），失去其運動能量，其間的一部分分子蒸發，殘留分子產生熱分解而固定在吸附處（化學吸附）。這時，如果器件的功函數小于吸附分子的電子親和力，則吸附分子將從器件奪取電子而變成負離子吸附。具有負離子吸附傾向的氣體最典型的是O2，稱為氧化型氣體或電子接收性氣體。如果器件的功函數大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放電子，而成為正離子吸附。具有這種正離子吸附傾向的氣體有H2、CO、碳氫化合物和酒類等，稱為還原型氣體或電子供給性氣體。

目前可用于檢測氣體的敏感元件有很多種，如 SnO2，ZnO，Fe2O3和氣敏元件等。它們共同的特點是可以檢測多種不同的氣體，但對氣體的選擇性較差。這種非單一選擇性是由其敏感機理所決定的，雖然可以采用添加適量的貴重金屬Pt、Pd等方法改善其選擇性，但仍然會對其它氣體有一定的敏感度。

2 半導體空氣質量傳感器TGS2600

2.1 TGS2600 構成和工作原理

空氣傳感器是半導體氣敏傳感器中的一種，它構造簡單，由傳感器基板，氣敏元件和傳感器蓋帽組成。氣敏元件由一個以金屬鋁做襯底的金屬氧化物敏感芯片和一個完整的加熱器組成。利用加熱器加熱，以偵測氣體附著于金屬氧化物表面而產生的電阻值的變化。在檢測氣體時，傳感器的傳導率依賴于空氣中氣體濃度的變化。在目標氣體不存在的狀態下，大量附著的空氣中的O2會捕捉電子，而呈現出高阻狀態;相反的，若有目標氣體存在，則因為會與氧產生一種燃燒反映，自由電子的量增加，而電阻值則降低。用一個測量電路能將該傳導率的變化轉化成對應于氣體濃度變化的輸出信號。

TGS2600是日本FIGARO公司開發生產的一種新型半導體氣體傳感器，能夠靈敏地感知空氣中的低濃度污染物的異味，如空氣中的低濃度香煙污染物和其它異味，對H2、CO等有較高的敏感度。該傳感器能檢測到幾個ppm級H2含量。TGS2600具有成本低、體積小、壽命長、選擇性和穩定性好等特性，可廣泛用于空氣質量監測、自動通風換氣系統、空氣清新機和氣流控制設備中。該器件比較適合于在室溫下長時間通電連續工作。由于采用小型化芯片，TGS2602傳感器的加熱器所需電流僅為42mA，并且安置于標準TO-5封裝中。

2.2 TGS2600傳感器基本測量電路

傳感器基本測量電路如圖1所示。此傳感器要求有兩個電壓輸入：加熱器電壓VH和電路電壓VC。加熱器電壓VH加于集成加熱器上以保持傳感器在一個特定的最佳感應溫度。電路電壓VC被加載以便于測量與氣敏元件串聯的負載電阻電壓Vout。此傳感器有極性所以電路電壓VC必須是直流。可以用一個公共的電源來同時供給VH和VC以滿足傳感器的電氣需求。合理選擇負載電阻RL使報警門限電壓最優化，并使半導體傳感器功耗小于15mw。當目標氣體存在時，傳感器功耗在RS與RL相等時最大。

圖1 傳感器基本測量電路

2.3 TGS2600傳感器靈敏度特性

2.3.1 典型靈敏度特性曲線

典型靈敏度特性如圖2所示，所有數據都采集于標準測試條件下，Y軸表示傳感器靈敏度，即電阻比RS/R0 。其中RS為傳感器在不同氣體濃度下的阻值;R0 為傳感器在清新空氣中的阻值。 ?
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2.3.2 TGS2600傳感器典型溫度、濕度依賴特性曲線

典型的溫度、濕度依賴特性如圖3所示。同樣，Y軸表示傳感器靈敏度（電阻比）RS/R0，其中RS為清新空氣中的傳感器在不同溫、濕度條件下的阻值;R0為清新空氣中的傳感器在20℃及65%相對濕度下的阻值。

圖3 典型溫度、濕度依賴特性曲線

3、TGS2600傳感器的典型應用

3.1 實驗電路

分析和處理傳感器輸出信號通常有兩種方案可供選擇：一是使用FIGARO公司開發的專用模塊—空氣質量控制板AM-1，其上載有一款專用的微處理器（ FIC93619A），它包含有處理傳感器信號的特殊軟件，還帶有溫度和濕度補償，給空氣質量監測提供了一種新的簡單的手段;二是選用其它型號的微處理器并通過編程實現信號處理。空氣質量控制板AM-1的結構圖如圖4中虛線框所示。

圖4 AM-1的結構框圖及實驗電路

AM-1就是一個污染監控器，它讓用戶在最短的時間了解和感受到TGS2600傳感器在空氣質量監測中的高靈敏度及其優異的表現，它可以對室內空氣的異常作出與人的感覺類似的反映，甚至可以比人更靈敏。AM-1能在50m3的室內準確地感知到一只香煙的燃燒所帶來的變化。它良好的靈敏度是通過電阻的變化而獲得的。AM-1分四個級別來評估室內的污染程度，這可以通過5個不同顏色的發光二極管來指示。傳感器信號經微處理器處理后作出判斷，將空氣質量分成4個級別。如表1所示。同時這幾個輸出信號可以控制空氣清新機的動作，讓它停機、弱運行、中運行或強運行，以此來達到調節和清新空氣的目的。這一系列的操作和人的想法非常一致。在AM-1上設計有一個敏感度開關，有“H”和“L”可供選擇，可按照需求和運用場合而設定。

表1：指示燈與污染級別

3.2 實驗結果

將AM-1固定在一個空間為1 m3的測試箱中，箱中安置有攝像頭和排氣孔，箱子的四周開有玻璃的觀察窗。上電以后，要預熱3分鐘，這時綠燈閃爍。如果空氣質量好，綠燈亮。利用圖4的實驗電路，將傳感器的輸出信號送入NR2000采集器，再通過USB接口送入計算機。在箱中分別燃燒紙、布、塑料、尼龍和香煙等材料，測試出的數據表明TGS2600靈敏度高，區分度好，很好的反映出了不同物質燃燒前、燃燒中、燃燒后各個階段產生煙霧和氣味的情況。圖5所示為用燃燒棉布（10＊10cm）和毛織物（10＊10cm）測出的數據所繪制的波形圖。

圖5 傳感器輸出電壓波形圖

4 結論

由以上實驗可知， TGS2600空氣質量傳感器能夠很好的感知空氣中的污染物的異味，非常靈敏地監測空氣質量的變化。與其它空氣傳感器相比，TGS2600在靈敏度和穩定性方面有很大的優越性，具有成本低、體積小、壽命長、價格低廉、穩定性好等特點。TGS2600為空氣質量的監測和通風換氣設備等提供了方便可靠的方法。隨著經濟的發展和人民生活水平的提高，人們對環保問題越來越重視，特別是對室內空氣質量的監測也日益關注，所以對空氣傳感器的開發研究和綜合應用是一項當務之急的課題，必將成為今后備受矚目的應用研究領域。