人工智能現(xiàn)在的發(fā)展是很快的，應用領域也是很豐富的，生活、醫(yī)療等都可以看到人工智能科技的影子，比如神經(jīng)檢測這一塊兒，可以運用meas壓力傳感器來進行探測的，理想情況下，神經(jīng)探針陣列應具有良好的生物相容性、具有高信噪比的高密度電極、通過柔性電纜實現(xiàn)的互連功能、高度集成的電子架構，以及集成型微執(zhí)行器，從而驅動電極柄實現(xiàn)神經(jīng)元運動跟蹤。

人類的大腦通過其神經(jīng)元活動來協(xié)調(diào)我們的感知、想法和行動。神經(jīng)科學家正努力通過采用能夠在行為期間以單神經(jīng)元和單峰分辨率分離、識別和操縱神經(jīng)元的方法來理解大腦的功能。神經(jīng)探針不僅在細胞外記錄、腦機接口（BMI）和深部腦刺激（DBS）方面取得了成功，而且在腦電圖、神經(jīng)元功能恢復和腦部疾病研究等一些新的應用中也成績斐然。

為了能夠在大腦的多個區(qū)域內(nèi)大規(guī)模記錄單個神經(jīng)元，神經(jīng)探針需要高密度、大數(shù)量的電極。遺憾的是，最新的高密度CMOS神經(jīng)探針有一個很大的“柄”，它是探針的一部分，會植入到大腦區(qū)域。這個“柄”部分需要做到盡可能薄，以避免干擾或損害正常的大腦功能，眼下，它們還達不到神經(jīng)科學家希望的那么小。另外，目前的電子設計架構也不是最佳。探針設計由大量小型有源電極組成，用于放大和緩沖神經(jīng)信號。CMOS像素放大器（PA）位于電極下方極小的空間內(nèi)，由于空間不足，信號處理被迫在探針的底座完成。想象一下這種非理想信號路由中的噪聲問題，理想情況下希望信號處理緊挨著PA進行。

微型光機械meas壓力傳感器，我們從meas壓力傳感器設計開始。MEMS壓力傳感器有電容式和壓電式，它們體積小，性能相當好。再就是光纖傳感器，它們具有超敏感性和低噪聲特性，但在集成度較低的設計架構中使用最佳。

現(xiàn)在，我們將上述兩種傳感器特性合并為一個集成傳感器，即微型光機械meas壓力傳感器。與壓電和電容傳感器設計相比，這種器件可帶來更高的靈敏度和更好的噪聲特性，但封裝尺寸卻相同。