濕度傳感器基于不同的原理有多種類別：電容式、電阻式、重力測量式、微波式等；而基于敏感材料的不同又可分為：半導體氧化物、高分子材料、多孔的有機或無機材料等。濕敏元件是最簡單的濕度傳感器，主要有電阻式和電容式兩大類：

1）電阻式濕敏傳感器

濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發生變化，利用這一特性即可測量濕度。濕敏電阻的優點是靈敏度高，缺點則是線性度和產品的互換性差。濕敏電阻的種類很多，例如金屬氧化物濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。其濕敏材料以多孔陶瓷種類最多。

2）電容式濕敏傳感器

濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酞亞胺、酪酸醋酸纖維等。當環境濕度發生改變時，濕敏電容的介電常數發生變化，使其電容量也發生變化，其電容變化量與相對濕度成正比。濕敏電容的主要優點是靈敏度高、產品互換性好、響應速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實現小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。

除電阻式、電容式濕敏傳感器之外，還有電解質離子型濕敏傳感器、重量型濕敏傳感器（利用感濕膜重量的變化來改變振蕩頻率）、石英振子式濕敏傳感器、光強型濕敏傳感器、聲表面波濕敏傳感器等。

無論哪種形式的濕敏傳感器，其產品的基本形式都是在基片上涂覆感濕材料形成感濕膜。空氣中的水蒸氣吸附于感濕材料后，引起元件的質量、阻抗、介電常數等參數發生很大的變化，從而制成濕敏元件。因此，傳統的濕敏傳感器還存在著以下一些問題：

a）長期穩定性差。在檢測環境濕度時，濕敏元件要長期暴露在待測環境中，很容易被污染而影響其測量精度及長期穩定性。

b）傳感器的互換性差，對氣體的選擇性也較差。

c）校準和標定的時間長而復雜。因為此類傳感器的輸出信號通常是非線性的，這使得定標有一定困難。

高濕型（》70%RH）、低濕型（《40%RH）、全濕型（0～100%RH）

電解質型：以氯化鋰為代表，它是在絕緣基板上制作一對電極，涂上氯化鋰鹽膠膜。氯化鋰極易潮解，并產生離子電導，隨濕度升高而電阻減小。

陶瓷型：一般以金屬氧化物為原料，通過陶瓷工藝，制成一種多孔陶瓷，利用多孔陶瓷的阻抗對空氣中的水蒸氣的敏感特性而制成。

高分子型：在絕緣基板上通過涂覆或者旋轉涂膜儀附上一層有機高分子感濕膜制備成濕敏元件。其基本特點是材料來源廣泛、制作工藝簡單、無需加熱清洗、適于批量生產，應用范圍廣，實用性強。另外，其性能優異，可用于較寬濕度范圍的測量，濕滯回差小、響應速度快、溫度系數小、使用壽命長。

在高分子型濕度傳感器的研究領域，聚合物電解質由于其特殊的一些優點比如：容易加工、價格低廉、響應快而且靈敏度高而被研究者在過去的幾年中廣泛關注。然而其不足之處是由于其在水中的可溶性而使其在應用時在高濕度下會影響其濕敏性質。