InSb紅外探測器在中波紅外波段（3～5 μm）具有良好的靈敏度和優異的可靠性。InSb光伏探測器的響應率是評價探測器性能的重要指標之一。探測器的電壓信號與響應率成正比。從光敏芯片的角度提出了增大InSb紅外探測器信號的方法。

據麥姆斯咨詢報道，近期，華北光電技術研究所的科研團隊在《紅外》期刊上發表了以“InSb焦平面芯片的響應率提升研究”為主題的文章。該文章第一作者和通訊作者為米南陽，主要從事紅外探測器器件技術方面的研究工作。

本文以InSb紅外光敏芯片為研究對象，分析了光敏芯片的輻照面積和p型層厚度兩個因素對紅外探測器響應率的影響。通過增大光敏芯片的輻照面積（優化濕法刻蝕工藝）和減小p型層的設計厚度兩種方案，顯著地增大了InSb紅外探測器的響應率和電壓信號。該研究對于優化InSb紅外探測器性能和提升光學制導導彈能力具有重要意義。

實驗

實驗中使用的InSb材料為n型，其濃度約為1×101?。通過熱擴散方法在InSb的表面注入Cd原子，形成厚度為2～3 μm、濃度約為1×101?的p型層。采用化學腐蝕的方法去除一定厚度的p型層，獲得所需的預留厚度。隨后通過濕法刻蝕形成具有一定高度的臺面。經過鈍化、金屬化等工藝后，最終獲得InSb光敏芯片。

采用以下兩種方案獲得了3個不同的實驗樣品：（1）通過優化臺面刻蝕工藝，在保持設計尺寸不變的情況下增大光敏芯片的輻照面積；（2）改變p型層的預留厚度。3個實驗樣品的具體工藝如下：對于樣品A，將臺面設計成邊長為28 μm的正方形，并用1號腐蝕液（主要由氫氟酸和過氧化氫組成）對臺面進行濕法刻蝕；對于樣品B，將臺面設計成邊長為28 μm的正方形，并用2號腐蝕液（主要由檸檬酸和磷酸組成）對臺面進行濕法刻蝕；對于樣品C，將臺面設計成邊長為28 μm的正方形，將p型層的預留厚度設定為0.8～1.2 μm，并用2號腐蝕液（主要由檸檬酸和磷酸組成）對臺面進行濕法刻蝕。

分別對以上3個樣品進行光電性能測試，包括芯片的Ⅰ‐Ⅴ曲線測試以及探測器組件的電壓信號測試。利用電壓信號值判斷探測器的響應率。所有測試均在液氮溫度（77 K）下進行。

結果及分析

增大光敏芯片的輻照面積

對上述樣品的測試結果進行分析。其中，樣品A和樣品B的Ⅰ-Ⅴ測試結果如圖1所示?？梢钥吹?，樣品B的電流值明顯大于樣品A的電流值。使用1號腐蝕液進行臺面濕法刻蝕的樣品A，在電壓為-100 mV時的電流值為-12.18 nA。使用2號腐蝕液進行臺面濕法刻蝕的樣品B，在電壓為-100 mV時的電流值增大至-17.06nA（提升了40%）。表1和表2分別列出了樣品A和樣品B的探測器組件的電壓信號值。

圖1 樣品A和樣品B的Ⅰ-Ⅴ測試結果

將樣品A和樣品B芯片分別裝進組件并對其進行測試性能。以黑體為探測目標，黑體溫度分別為20℃和35℃，積分時間為1.2 mS，F數為2.3，讀出電路的積分電容為384 fF。樣品A的5個芯片的電壓信號值分別為499 mV、465 mV、478 mV、510 mV和498 mV，平均值為490 mV。樣品B的5個芯片的電壓信號值分別為525 mV、535 mV、618 mV、637 mV和531 mV，平均值為569 mV。樣品B芯片的信號值比樣品A芯片的信號值增大了16%。

圖2為具有臺面結構的單個像元的示意圖?？梢钥闯?，入射光從芯片背面被InSb的n型區吸收，并且在該區域內產生一定數量的光生載流子。這些光生載流子首先在濃度梯度的作用下朝著p型層和n型層的界面（即p-n結）移動。通過p-n結界面的光生載流子數量與該界面的面積大小成正比。

圖2 InSb光敏芯片的單個臺面結構示意圖

樣品A和樣品B具有相同的p型層預留厚度。兩個樣品的差異點在于臺面濕法刻蝕時使用的腐蝕液不同。濕法刻蝕具有各向同性的特點，即腐蝕液對InSb材料的各個方向均有腐蝕性。將腐蝕液對材料縱向和橫向的腐蝕速率之比定義為深寬選擇比。不同的腐蝕液具有不同的深寬選擇比。對于樣品B來說，所用的2號腐蝕液具有更高的深寬選擇比，即刻蝕相同深度的臺面時，其橫向鉆蝕更小，因此會獲得更大的臺面面積。樣品A和樣品B的臺面尺寸示意圖如圖3所示。

圖3 樣品Ａ和樣品Ｂ的臺面尺寸示意圖

減小p型層的預留厚度

樣品C是在樣品B更換2號腐蝕液的基礎上，進一步減小了p型層的預留厚度。樣品A、樣品B和樣品C的Ⅰ-Ⅴ測試結果如圖4所示。樣品C在減小p型層的預留厚度以及更換臺面刻蝕的腐蝕液后，-100 mV下的電流達到-28.54 nA，相比于樣品A和樣品B的電流值分別增加了134.3%和67.3%。這說明減小p型層厚度對于探測器芯片的Ⅰ-Ⅴ電流值有明顯的提升作用。

圖4 樣品A、樣品B和樣品C的Ⅰ-Ⅴ測試結果

對于正照射的p-on-n型紅外探測器芯片，光吸收區在p區內，因此減小p型層的厚度以減少光生載流子在p型層內的復合，有助于提升器件的電壓信號。以另一種正照射的單元器件為例，通過測量組件的性能，研究p型層的預留厚度對信號的影響。

對于組件E的探測器芯片，p型層的預留厚度為0.8～1.0 μm；對于組件Ｆ的探測器芯片，p型層的預留厚度為0.6～0.8 μm。測試組件E和組件F的性能，得到表3和表4所示的信號值。

從組件測試結果來看，減小p型層的厚度后，組件Ｆ的平均信號值達到了29.6 mV，相比于組件Ｅ的信號值（21.1 mV）提升了40.2%。這與Ⅰ-Ⅴ測試結果中樣品C相比于樣品B的電流值提升相近。

對于正照射的p-on-n型紅外探測器，被探測物體產生的光被光敏芯片的p型層吸收，在該區域內產生光生載流子。光生載流子在濃度梯度的作用下擴散至p-n結界面附近。由于p-n結的存在，結區附近沿縱向分布電場，載流子在電場的作用下被p-n結捕獲。當載流子跨越勢壘到達n型層后，經過金屬電極的引出形成電流并到達讀出電路。電流越大，組件的電壓信號越大。此時，光生載流子在光吸收區擴散和轉移的過程中會不斷地發生復合。復合后的載流子不會轉換為光電流。p型層的少子壽命約為10?3μs。載流子在p型層的壽命更低，光生載流子很容易在p型層發生復合，導致量子效率和光電流降低，進而影響組件的信號大小。因此，通過減小p型層的預留厚度，可以減少載流子在p型區的復合數量，從而增大輸出的光電流，提升組件的電壓信號。樣品C的p型層預留厚度小，光生載流子在p型層擴散時復合的數量最少，因此該芯片的Ⅰ-Ⅴ電流大。組件E和組件F的測試結果同樣驗證了這一結論。

結束語

本文研究了InSb紅外探測器光敏芯片的有效光吸收面積以及p型層預留厚度對信號或響應率的影響。使用深寬選擇比更高的腐蝕液進行臺面刻蝕，可將臺面面積增大17%。臺面面積增大會引起有效光吸收面積變化，導致芯片的Ⅰ-Ⅴ電流增大了40%，電壓信號值提升了16%。進一步將ｐ型層的厚度降低至0.8～1.2 μm后，光生載流子在ｐ型層的復合數量降低，載流子被引出的數量增加，芯片的Ⅰ-Ⅴ電流增大了67.3%。

單元器件的組件測試結果表明，減小p型層的厚度后，組件的信號提升了40.2%。以上實驗結果說明，光敏芯片吸收光子的數量以及ｐ型層的厚度均對信號或者響應率有顯著的影響。這一結果對于優化InSb紅外探測器光敏芯片的工藝和提升探測器的質量具有重要指導意義。未來將繼續研究該結論在不同型號/規格探測器上的應用。

審核編輯：劉清