電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量儀器，它由主體和測頭兩部分組成，配上相應的測量裝置（例如測量臺架等），能夠完成各種精密測量。

　　電感測微儀主要的技術指標

　　1、測量范圍：0~±30μm檔及0~±500μm檔；

　　2、示值誤差：0~土30μm檔為0.1μm，0~±500μm檔為1μm；

　　3、分辨率：0~±30μm檔為0.01μm，0~±500m檔為0.1μm.

　　4、極性：當測量值為負時，自動顯示“-”；為正時，無極性符號。

　　電感測微儀硬件特點

　　1、在運算放大器的選擇上，本儀器均采用低漂移、低噪聲的運算放大器OP07.由OP07組成了集成化的交、直流放大器電路，雙T網絡正弦波發生器，集成的相敏檢波電路和濾波器等，省去了傳統電感測微儀使用的二極管、三極管和變壓器等，使得由二極管和三極管造成的非線性特性以及飽和壓降和反向電流得以改善；省去變壓器，調試制作比較方便，重量也較輕，可靠性增強。

　　2、本儀器選用了逐次比較式12位A/D轉換器AD574，它的非線性誤差小于±1/2LBS或±1LBS，一次轉換時間約為25μs，因其片內配有三態輸出緩沖器，可直接與各種典型的8位和16位微處理器相連，滿足了測量精度和實時顯示的要求，應用非常方便。

　　3、本儀器采用了顯示器及鍵盤接口芯片8279，單個芯片就能完成鍵盤輸入和LED顯示控制兩種功能，顯示方式為動態顯示，6位LED顯示器可以實現顯示測量結果。整機設有5個功能鍵，能夠實現如下功能：顯示被測工件的峰值，并把峰值存入數據存儲器，留待處理；可以進行統計分析，顯示一百個工件分組后各組的平均值和極值，直方圖的頻數，總平均值和極值；可以進行絕對測量和相對測量的轉換；可以設定被測工件的上、下偏差，當被測工件的峰值超出設定值時，就要報警顯示；可以實現±500μm和±30μm檔的轉換。

　　電感測微儀的應用

　　例如，檢查工件的厚度、內徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應用于精密機械制造業、晶體管和集成電路制造業以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。國內常用的電感測微儀有指針式和數字式兩種，存在的問題較多，如高精度測量范圍小，零位調節不方便、功能單一和通用性差等。它通過編制軟件實現儀表的高精度、智能化、多功能化，經過反復的實驗與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩定。