在現代工業和科學研究領域，對于微小尺寸和位移的精確測量需求日益增長。作為精密測量領域的核心技術之一，電容測微儀主要用于長度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測量、振動測量、微位移檢測等，憑借其非接觸、高精度等優勢，在高端制造、科研及醫療等領域發揮關鍵作用。

芯明天電容測微儀

電容測微儀是一種基于電容變化原理的非接觸式精密測量儀器。其核心原理是通過檢測電容器兩極板之間的電容值變化來反映被測物體的位移量。

芯明天電容測微儀它由電容傳感探頭和傳感及供電組成。它可以測量1mm范圍內的微小位移，測量精度高達納米級。

（1）電容傳感探頭

芯明天電容傳感探頭分為柱型和方型兩種。如下圖所示。

產品特點

? 測量量程可達 1mm

? 測量分辨率可高達 1.25nm

? 非接觸式測量，無磨損

? 三電極結構和電場屏蔽環構造

? 可測量所有導電材料

? 探頭對被測件不產生機械外力

? 主動電場屏蔽設計

? 適用于潔凈室、真空環境下使用

? 提供更高的測量精度

? 被測物體導電性強弱不影響測量

典型應用

1.晶圓厚度檢測：電容測微儀可以用于半導體晶圓厚度檢測，非接觸式測量可以避免晶圓表面在檢測過程中受到外界應力而磨損或損傷，電容傳感器能夠以納米級分辨率精準測量微小尺寸變化，確保晶圓制造的質量和性能，提高良品率。

2.天文望遠鏡鏡片定位：電容測微儀可測量鏡片之間的相對位置和間距，保證光學系統的成像質量，使望遠鏡能夠捕捉到更清晰、更遙遠的天體圖像。

3.精密機械加工：在精密機械零件的加工中，電容測微儀可用于測量零件的尺寸精度、表面平整度和加工過程中的微小形變。

4.材料力學性能測試：在材料拉伸、壓縮等力學實驗中，電容測微儀可以精確測量材料在受力過程中的微小變形，從而得到材料的應力，分析材料的力學性能參數。

電容探頭技術參數

（2）傳感控制器

芯明天根據不同應用需求，為電容傳感器匹配三種類型控制器，分別是模塊化多通道傳感控制器、單通道小體積傳感控制器和板卡式傳感控制器。

傳感控制技術參數

更多詳情歡迎致電芯明天0451-86268790、17051647888（微信同號）！

審核編輯 黃宇