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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems技術

NIST開發(fā)出微機電系統(tǒng)(MEMS)延遲線內存控制器

美國國家標準與技術研究所（NIST）日前展示一款采用微機電系統(tǒng)（MEMS）的延遲線內存控制器，可望作為未來量子電腦的暫存內存控制器。

2013-03-21 標簽：MEMS 延遲線微機電系統(tǒng) 1.6k 0

降低成本提高效率 MEMS動態(tài)晶圓測試系統(tǒng)

STI3000動態(tài)晶圓級測試系統(tǒng)采用STI的專利技術（DST），通過一個驅動電壓在晶圓上驅動MEMS移動，從而測量由此產生的相關各種特性，是目前全世界最...

2013-02-27 標簽：MEMS 晶圓測試 2.5k 1

石英振蕩器與MEMS結合的時鐘器件方案

石英振蕩器與硅基MEMS技術（硅晶圓級封裝技術）結合的時鐘器件，該方案利用硅基MEMS技術真空封裝石英振蕩器。

2013-02-25 標簽：MEMS 時鐘器件石英振蕩器 1.7k 0

ST應用于鳥類追蹤系統(tǒng)的先進MEMS傳感技術

意法半導體與阿姆斯特丹（UvA）大學理工學院攜手宣布，該大學研發(fā)的先進鳥類追蹤系統(tǒng)采用了意法半導體的先進MEMS傳感技術。

2013-02-25 標簽：MEMS ST 傳感技術 1.2k 1

意法半導體MEMS和傳感器產品方案

意法半導體的傳感器產品包括MEMS（微機電傳感器，包括加速度計、陀螺儀、數字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器和麥克風）、溫度傳感器和觸摸傳感器。

2013-02-20 標簽：傳感器 MEMS 意法半導體 1.7k 0

引領移動MEMS市場發(fā)展意法半導體MEMS器件解決方案

意法半導體的傳感器產品包括MEMS（微機電傳感器，包括加速度計、陀螺儀、數字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器和麥克風）、溫度傳感器和觸摸傳感器。

2013-02-20 標簽：MEMS 意法半導體 MEMS器件 1.8k 0

MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學上的應用

MEMS生物微針技術出現(xiàn)了并不是很長的時間，下面就微針較為廣泛的三個方面的應用原理及當前該技術的最新進展進行闡述。

2013-02-02 標簽：MEMS 微針技術 5.5k 0

溫度傳感器朝數字化和MEMS方向發(fā)展

在電子產業(yè)中，傳感器是相當重要的基礎組件，廣泛應用在航天、軍事、工業(yè)、家電、汽車電子、信息及醫(yī)療設備等領域，尤其近年隨著物聯(lián)網概念的擴散，傳感器的需求量...

2013-02-02 標簽：溫度傳感器 MEMS 2.3k 0

MEMS技術加工工藝與IC工藝區(qū)別

微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術、結合加工、逐次加工。

2013-01-30 標簽：IC MEMS 微機械系統(tǒng) 1.2萬 1

MEMS結構科普:氧傳感器知識研究

電阻型氧敏感材料性能的指標主要是在氣氛改變時電阻的變化幅度和響應時間。薄膜元件的氧敏感性能測試可用氧含量氣氛變化時檢測電阻變化來表示。

2013-01-29 標簽：MEMS MEMS傳感器氧傳感器 3.3k 0

醫(yī)療應用新突破 MEMS壓力傳感器創(chuàng)新設計

目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。研發(fā)人員制作出一種小型傳感器，這種傳感器將一個...

2013-01-28 標簽：MEMS 壓力傳感器 2.4k 0

便攜MEMS麥克風可以有效改善音質

由于采用了Technitrol的MEMS（微電子機械系統(tǒng)）麥克風技術，一系列極具創(chuàng)新性的MEMS產品得以投放到在硅麥克風市場。首批上市的產品為愛普科斯T...

2013-01-28 標簽：智能手機 MEMS 1.6k 0

采用綜合學科研究法有效封裝MEMS加速儀

本文16引線SOIC加速儀封裝的完整工藝流程進行了評估解以了解造成低ppm水平芯片斷裂的裂紋擴展和傾向。找出了兩個危害最大的關鍵工序。影響最大的是焊接回...

2013-01-25 標簽：MEMS MEMS加速計 1.8k 0

MEMS加速計致力解決汽車安全問題

ABS系統(tǒng)必須增添額外的傳感器來實現(xiàn)ESP功能，包括方向盤角度傳感器、偏航速率傳感器和低重力加速度傳感器，這些傳感器都用來測量車輛的動態(tài)響應。顯然，這為...

2013-01-24 標簽：MEMS MEMS加速計 1.3k 0

MEMS加速計的三種高壓滅菌器失效機理

本文共討論了MEMS加速計的三種高壓滅菌器失效機理。分別說明了每一種失效機理的FA方法（通過建模和測量）和設計改進。排除了封裝應力作為高壓滅菌器失效的根源。

2013-01-24 標簽：MEMS MEMS加速計高壓滅菌器 1.9k 0

MEMS建模--從設計到制造

MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設計師使用，因此模型應當盡可能緊密地集成到用戶的設計流程。對于IC 設計師，這需要模型支持所有模擬器，具有設計流程中的各種實體...

2013-01-24 標簽：轉換器 MEMS 1.2k 0

菲爾斯特的MEMS微機電技術和MPT微組裝工藝

微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的。MEM...

2013-01-22 標簽：MEMS 菲爾斯特微機電技術 3k 5

石英和可編程全硅MEMS振蕩器大比拼

如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現(xiàn)代電子系統(tǒng)的大腦，那么時鐘組件當之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者，在選擇時鐘組件時都會經過全面...

2013-01-05 標簽：MCU 振蕩器 MEMS 3k 0

MEMS加速度傳感器在胎兒心率檢測儀中的應用

VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器，提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法，研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護...

2012-12-19 標簽：MEMS 檢測儀加速度傳感器 1.3萬 0

mems器件在汽車上有哪些應用

mems（微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;

2012-12-11 標簽：汽車電子 mems 1.3k 0

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