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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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麥姆斯咨詢:由于仍沒有找到合適的買家或合作伙伴,博世將關停MEMS麥克風子公司Akustica(阿庫斯蒂克)。
2017-10-16 標簽:mems 5.9k 0
據麥姆斯咨詢報道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術及嵌入式MRAM(磁隨機存儲器)領先開發商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
EMS陀螺儀并不是最早應用在消費電子上的運動傳感器,加速度傳感器、電子羅盤早先一步進入了消費電子市場。
一直以創新為極致追求的村田,早在2012年就通過并購芬蘭的MEMS巨頭公司VTI,而擴充了MEMS傳感器領域產品。
由上海微技術工業研究院構建的國內首條,全球領先,兼容CMOS的8英寸研發中試線正式向業界發聲,在打造中國完整的“超越摩爾”產業鏈基礎上,旨在進一步推動中...
2017-09-28 標簽:mems 7.4k 0
在生產和應用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點也表現地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產工藝相對復雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標簽:mems 4.4k 0
ST有新的改變嘍,比如在OPENMEMS頁面下的算法庫鏈接都變成了下面這樣,不僅算法種類有了極大的豐富(增加了AC, AW, EC, FA, FX, G...
2017-09-21 標簽:mems 5k 0
過去30年來,MEMS開關一直被認為是性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數百GHz...
解決大問題需要開創性的技術。機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關技術可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫療保健...
MEMS麥克風含一個可移動的膜片和靜態背板,采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設計是為...
作為一項基于固態電子器件和內置半導體制造設施技術,MEMS向狀態監控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優勢。撇開性能因素,我們就來說說狀態監控領域...
今天我們將通過回顧一些數據來說明MEMS技術的發展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態監控加速度計進行比較。
一文探討運動傳感器的技術挑戰和復雜程度(測量/提升/保障生)
討論MEMS與生活品質的關系時,定義如下的不同程度或階段可能會有用:從測量、提升到保障。慣性傳感器能夠測量、捕捉或估計人體的輸出/健康狀況,因而與音頻和...
現在智能家居中的傳感器基本都是集成傳感器,集成傳感器是利用集成電路工藝將半導體敏感元件、測量處理電路集成在一個芯片上制成的性價比高、使用方便的小型化傳感器。
以Apple Watch和Fitbit代表的智能可穿戴市場在2016年繼續保持增長,不過續航時間短、檢測數據不夠準確、與智能手機功能重疊等因素都導致了可...
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