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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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新款Cypress MEMS揚聲器的低音響應性能提升了40倍,并將在CES 2024展會上通過預約方式進行展示體驗,預計2024年底實現量產;
振動監測 (VM) 已經問世很長一段時間,并且已被用于監測機器、設備或結構的健康狀況。在機器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數據以對其進行實時監...
基于節點存儲路由信息的無線傳感器網絡覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術、微機電系統(MEMS)技術、無線通信技術和分布式信息處理技術的無線傳感器網絡(WSN,wirelesssensornetworks)是當...
MEMS傳感器是令人驚奇的小器件,大小僅為幾平方毫米,通常包含兩個芯片。一個是傳感器芯片,通常來說MEMS器件提供運動或壓力信息,但它也可以用作磁性固態傳感器。
工業自動化是一個突出的業務,它正朝著一個新的方向邁進。對品種、定制產品和產品差異化的需求不斷增加,使得制造商很難批量生產零部件。
簡介: 本文主要介紹了一種應用諧振原理進行測量的密度測量方法,詳細的分析了這種密度測量方法的優缺點所在 ? 1. 利用諧振進行密度測量的原理 諧振密度傳...
人口老齡化的趨勢已經被媒體廣泛報道,全球人口出生率持續下降加快了老齡化。這些趨勢共同意味著未來幾十年能夠照顧更大基數老年人口的人數將會更少。在短期內,沒...
我們曾在之前發布的文章《解讀MEMS麥克風技術與設計》中指出, MEMS麥克風的需求是由客戶所要求的音頻功能驅動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
MEMS技術是隨著集成電路,尤其是超大規模集成電路發展起來的一門新技術,經過幾代科學家的努力,MEMS如今在不同的行業和不同的領域相繼規?;a,展現了...
據麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學的研究人員于《新型工業化》期刊發表綜述文章,總結了體微加工技術和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
基于電容耦合式MEMS開關的90°分布式MEMS移相器設計與優化
近年來隨著射頻微機械技術的發展,MEMS移相器越來越受到人們廣泛關注,已經成為人們主要研究的MEMS器件之一。與傳統的移相器相比,MEMS移相器多采用半...
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