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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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國內外RF MEMS廠商大盤點 5G對我國的RF MEMS廠商來說是機遇也是挑戰
射頻微機電系統(RF MEMS)是MEMS技術的重要應用領域之一,也是二十世紀九十年代以來MEMS領域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中...
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全球導航衛星系統 (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統,但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
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超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優勢和實用性可能性
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