a.準確度：也稱精確度，即儀表的測量結果接近實值的準確程度。可以用絕對誤差或相對誤差來表示：

　　①絕對誤差=測量值-真實值

　　②相對誤差=絕對誤差/真實值

任何儀表都不能絕對準確地測量到被測參數的真實值，只能力求使測量值接近真實值。在實際應用中，只能是利用準確度較高的標準儀表指示值來作為被測參數的真實值，而測量儀表的指示值與標準儀表的指示值之差就是測量誤差。誤差值越小，說明測量儀表的可靠性越高。

b.靈敏度：指的是儀表測量的靈敏程度。常用儀表輸出的變化量與引起些變化的被測參數的變化量之比來表示。

c.響應時間：當被測參數發生變化時，儀表指示的被測值總要經過一段時間才能準確地表示出來，這段和被測參數發生變化滯后的時間就是儀表的反應時間。有的用時間常數表示(如熱電阻測溫)，有的用阻尼時間表示(如電流表測電阻)。

　　d.重現性：是指在測量條件不變的情況下，用同一儀表對某一參數進行多次重復測時，各測定值與平均值之差相對于最大刻度量程的百分比。這是儀器、儀表穩定性的重要指標，一般需要在投運時和日常校核時進行檢驗。

e.零點漂移和量程漂移：是指對儀表確認的相對零點和最大量程進行多次測量后，平均變化值相對于量程的百分比。