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隨著電子測距技術的出現，大大地推動了速測儀的發展。用電磁波測距儀代替光學視距經緯儀，使得測程更大、測量時間更短、精度更高。人們將距離由電磁波測距儀測定的速測儀籠統地稱之為“電子速測儀”（Electronic Tachymeter）。然而，隨著電子測角技術的出現。這一“電子速測儀”的概念又相應地發生了變化，根據測角方法的不同分為半站型電子速測儀和全站型電子速測儀。半站型電子速測儀是指用光學方法測角的電子速測儀，也有稱之為“測距經緯儀”。
這種速測儀出現較早，并且進行了不斷的改進，可將光學角度讀數通過鍵盤輸入到測距儀，對斜距進行化算，最后得出平距、高差、方向角和坐標差，這些結果都可自動地傳輸到外部存儲器中。全站型電子速測儀則是由電子測角、電子測距、電子計算和數據存儲單元等組成的三維坐標測量系統，測量結果能自動顯示，并能與外圍設備交換信息的多功能測量儀器。由于全站型電子速測儀較完善地實現了測量和處理過程的電子化和一體化，所以人們也通常稱之為全站型電子速測儀或簡稱全站儀。
全站儀使用方法
全站儀具有角度測量、距離（斜距、平距、高差）測量、三維坐標測量、導線測量、交會定點測量和放樣測量等多種用途。內置專用軟件后，功能還可進一步拓展。
全站儀的基本操作與使用方法 ：
水平角測量
（1）按角度測量鍵，使全站儀處于角度測量模式，照準第一個目標A；
（2）設置A方向的水平度盤讀數為0°00′00〃；
（3）照準第二個目標B，此時顯示的水平度盤讀數即為兩方向間的水平夾角。
距離測量
（1）設置棱鏡常數
測距前須將棱鏡常數輸入儀器中，儀器會自動對所測距離進行改正。
（2）設置大氣改正值或氣溫、氣壓值
光在大氣中的傳播速度會隨大氣的溫度和氣壓而變化，15℃和760mmHg是儀器設置的一個標準值，此時的大氣改正為0ppm。實測時，可輸入溫度和氣壓值，全站儀會自動計算大氣改正值（也可直接輸入大氣改正值），并對測距結果進行改正。
（3）量儀器高、棱鏡高并輸入全站儀。
（4）距離測量
照準目標棱鏡中心，按測距鍵，距離測量開始，測距完成時顯示斜距、平距、高差。
全站儀的測距模式有精測模式、跟蹤模式、粗測模式三種。精測模式是最常用的測距模式，測量時間約2.5S，最小顯示單位1mm；跟蹤模式，常用于跟蹤移動目標或放樣時連續測距，最小顯示一般為1cm，每次測距時間約0.3S；粗測模式，測量時間約0.7S，最小顯示單位1cm或1mm。在距離測量或坐標測量時，可按測距模式（MODE）鍵選擇不同的測距模式。
應注意，有些型號的全站儀在距離測量時不能設定儀器高和棱鏡高，顯示的高差值是全站儀橫軸中心與棱鏡中心的高差。
坐標測量
（1）設定測站點的三維坐標。
（2）設定后視點的坐標或設定后視方向的水平度盤讀數為其方位角。當設定后視點的坐標時，全站儀會自動計算后視方向的方位角，并設定后視方向的水平度盤讀數為其方位角。
（3）設置棱鏡常數。
（4）設置大氣改正值或氣溫、氣壓值。
（5）量儀器高、棱鏡高并輸入全站儀。
（6）照準目標棱鏡，按坐標測量鍵，全站儀開始測距并計算顯示測點的三維坐標。
數據通訊
全站儀的數據通訊是指全站儀與電子計算機之間進行的雙向數據交換。全站儀與計算機之間的數據通訊的方式主要有兩種，一種是利用全站儀配置的PCMCIA（personal computer memory card internation association，個人計算機存儲卡國際協會，簡稱PC卡，也稱存儲卡）卡進行數字通訊，特點是通用性強，各種電子產品間均可互換使用；另一種是利用全站儀的通訊接口，通過電纜進行數據傳輸。
區分方法
全站儀盤左盤右
全站儀儀器的盤左和盤右，實際上沿用老式光學經緯儀的稱謂。是根據豎盤相對觀測人員所處的位置而言的，觀測時當豎盤在觀測人員的左側時稱為盤左，反之稱為盤右。相對盤左和盤右而言也有稱為正鏡和倒鏡，以及F1（FACE1）面和F2（FACE2）面的。
對于測量來講，若正、反（盤左、盤右）測量后，通過測量方法有可消除某些人為誤差以及固定誤差的作用。對于可定義盤左和盤右稱謂的儀器而言，給用戶增加了應用儀器的可選操作界面，對測量作業和測量結果沒有影響。
另外，對于靠角度確認盤左和盤右可能存在某些錯覺，例如某些連接陀螺儀的全站儀或者經緯儀，在確定盤左和盤右時顯示的不一定是對應。就是說相對180度角度數值而已往小向轉不一定是盤左。反正，用戶記住兩者的差值即可。儀器也是自動求算的，對工程測量結果沒有影響。
氣泡校正
全站儀整平以及氣泡校正正確調平儀器的方法：
（1）架設：將儀器架設到穩固的三腳架上，旋緊中心螺旋。
（2）粗平：看圓氣泡（精度相對較低，一般為1分），分別旋轉儀器的3個腳螺旋將儀器大致整平。
（3）精平：使儀器照準部上的管狀水準器（或者稱長氣泡管）平行于任意一對腳螺旋，旋轉兩腳螺旋使氣泡居中（最好采用左拇指法，即左右手同時轉動兩個腳螺旋，并且兩拇指移動方向相向，左手大拇指方向與氣泡管氣泡移動方向相同。）；然后，將照準部旋轉90°，旋轉另外一個腳螺旋使長氣泡管氣泡居中。
（4）檢驗：將儀器照準部再旋轉90°，若長氣泡管氣泡仍居中，表示已經整平；若有偏差，請重復步驟（3）。正常情況下重復1～2次就會好了。
氣泡是否有問題的檢驗：
精平同時進行檢驗：使儀器照準部上的管狀水準器（或者稱長氣泡管）平行于任意一對腳螺旋，旋轉兩腳螺旋使氣泡居中；然后，將照準部旋轉180°，此時若氣泡仍然居中，則管狀水準器軸垂直于豎軸（長氣泡管沒有問題）。如氣泡不居中，就需要校正。
校正方法：
（A）按照檢驗的步驟進行到第（3）步，確定偏差量即氣泡偏離中間的差量。
（B）用改針調整長氣泡管的校正螺釘，使氣泡返回偏差量的1/4。若前面的差量無法精確知道，這里可大概改正；然后重復檢驗步驟的第（3）步驟。
（C）重復前面步驟，一般重復1～2次即可調好。調好后，再按照整平步驟進行儀器整平。
這里提及一下，在長氣泡管調整后最好再確認一下圓氣泡，若有偏差也調一下。
補充：氣泡管氣泡為什么會出現偏差？
原因：
（1）圓氣泡管一般由3個螺釘固定，內部有一個波形彈簧。若3個螺釘受力不均勻時，當儀器在車輛運輸過程中受顛簸就會引起受力小的螺釘松動，最后引起偏差，或者長時間使用造成螺釘松動。
（2）長氣泡管一般是一端固定，另外一端可調（校正螺釘）。可調端下面有彈簧，固定端里面應該有凸形內墊圈。無論是生產裝配還是維修校正，若在長氣泡管調整時沒有注意校正螺釘的螺紋間距，使螺釘受力不均衡，在儀器受大的顛簸后螺釘會稍微旋轉、引起氣泡偏差。
南方全站儀數據采集的具體步驟
使用南方全站儀進行數據采集時經常會出現測量偏差或者數據不精確，關鍵在于使用全站儀進行數據測量操作步驟不正確。不同型號的全站儀操作步驟會有點小不同，重點說下南方全站儀數據采集的步驟。其他不論是國產全站儀還是進口全站儀，都可以按照這個步驟來進行實踐。下面教你如何正確使用南方全站儀以進行數據采集得到準確的數據。
工具/原料
南方全站儀
全站儀三腳架
全站儀支架
方法/步驟
1在測站點上安置南方全站儀儀器，對中、整平。?
在測站點上安置儀器，對中、整平。在測站點上安置儀器，對中、整平。
2按全站儀電源鍵開機。屏幕顯示垂直角過零。?
按電源鍵開機。屏幕顯示垂直角過零。
3轉動望遠鏡，屏幕顯示V，HR，進入角度測量界面。?
轉動望遠鏡，屏幕顯示V，HR，進入角度測量界面。轉動望遠鏡，屏幕顯示V，HR，進入角度測量界面。
4按面板上MENU鍵，屏幕顯示菜單1/2.
5按F1數據采集，屏幕顯示選擇一個文件。
6按F1輸入進行文件名的輸入，再按面板上的數字鍵將在屏幕下方顯示該鍵所代表的字母和數字，分別對應F1，F2，F3，F4.完成文件名的輸入后按F4回車，屏幕返回數據采集1/2菜單
7按F1輸入測站點，屏幕顯示點名，編碼，儀器高的輸入界面。
8按F1輸入，依次輸入點名，儀高后，按F3測站，屏幕進入測站點界面。
9按F3坐標，屏幕進入測站點坐標N，E，Z輸入界面。
10按F1輸入，分別輸入對應的坐標值，完成后按F4回車，屏幕返回第7步界面。
11按F4記錄，屏幕顯示記錄？［是］［否］，按F4選擇［是］，屏幕返回數據采集1/2菜單。
12按F2輸入后視點，屏幕顯示后視點點名，編碼，棱鏡高參數設置狀態。
按F1輸入，依次輸入后視點點名，棱鏡高各參數，完成后按F3后視，屏幕進入后視 點界面。
按F3坐標，屏幕進入后視點坐標N，E，輸入界面。
按F1輸入，分別輸入對應的坐標值，完成后按F4回車，屏幕返回第12步界面。
按F4測量，儀器顯示［角度］［斜距］［坐標］。在轉動全站儀精確瞄準后視點棱鏡。
按F4測量，儀器顯示［角度］［斜距］［坐標］。在轉動全站儀精確瞄準后視點棱鏡。
按F1角度，儀器顯示當前豎直角V和方位角HR。
按F4記錄，儀器返回數據采集1/2菜單。
按F3測量，屏幕顯示待求坐標點的點名，編碼，棱鏡高輸入界面。
按F1輸入，依次輸入待求點點名，棱鏡高各參數。完成后按F3測量，屏幕顯示［角度］［斜距］［坐標］［偏心］。轉動全站儀對準待測點棱鏡中心。 ?
按F1輸入，依次輸入待求點點名，棱鏡高各參數。完成后按F3測量，屏幕顯示［角度］［斜距］［坐標］［偏心］。轉動全站儀對準待測點棱鏡中心。
按F3坐標，儀器顯示待求點的N，E，Z值。
按F4記錄，全站儀儀器返回第18步，輸入新的待求點的參數，按F4同前即可進行新的待求點的數據采集工作。
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