在次世代顯示技術Micro LED的發展過程中，跨界整合始終是關鍵。遍布在全球的、芯片商、面板廠、制程技術提供者、系統供應商等，無不多方建立合作關系，發揮彼此的技術強項，加速推進Micro LED技術進程。而從上游芯片制造起始，將各階段制程及技術串連起來的，則非設備廠莫屬。

如果說芯片、面板商是將Micro LED技術推上商業化舞臺的演員，設備廠就是后場默默整合資源，支撐光鮮前臺的幕后工作人員，名聲不一定特別響亮，功能卻是至關重要。在今年LEDinside的年度盛事Micro LEDforum上，也有數家設備廠商受邀分享他們的關鍵技術，提供轉移、接合、檢測及修復等不同解決方案。

Micro LEDforum 2019 現場盛況

LEDinside有幸采訪到專精于半導體后工序設備的ASM太平洋(ASM Pacific Technology)，由銷售總監顧志豪先生進一步說明，其相關制程設備如何支援轉移及固晶技術，加速Micro LED商業化發展。

ASM 太平洋銷售總監顧志豪先生詳細介紹針對Mini/Micro LED 的技術及解決方案

ASM太平洋強調速度與良率，提供Micro LED及Mini LED顯示技術所需方案

“Micro LED生產技術最大的挑戰，還是在于芯片數量。”談到Micro LED的技術進程，顧志豪點出關鍵。他指出，過去傳統LED用在顯示屏幕上可能只需要50-500單位量的芯片，但現在的Micro LED顯示屏則需要兩千四百萬的芯片量。因此，提升速度的轉移技術絕對是不可或缺的。

為達成后續制程良率的需求，確保芯片轉移時的精準度也相當重要。作為設備廠商，ASM太平洋能夠因應客戶的需求，提供同時滿足速度跟精準度的轉移設備，協助他們優化制程效率并降低生產成本，加速量產時程。

而ASM太平洋所具備的齊全產品線，能一一擊破Micro LED、Mini LED背光以及Mini LED RGB模組等不同技術的制程難題。

針對已開始進入市場的Mini LED背光技術，顧志豪表示這是最容易切入的技術，傳統拾放的固晶技術也能達成，但ASM太平洋的強項在于能提供高速方案，其AD 420自動化系統便已被使用于目前Mini LED背光產品的制程中。

Mini LED RGB顯示模組的制程上，除了保持速度，還需提升芯片排列的平整度，以維持顯示色彩的一致性。在回焊過程中，芯片的位置、角度、平整度都難以控制，這是傳統工藝不易解決的難點。ASM太平洋深明Mini LED RGB以及Micro LED顯示模組產品的要求，開發出巨量焊接工藝AD300Pro，其獨家技術讓LED芯片不用經過回焊(reflow)，可確保芯片的XY位置及水平角度一致，使得全彩RGB顯示螢幕的平整度更易掌控。

至于Micro LED技術方案，ASM太平洋目前已達成一次轉移10000片Micro LED芯片，接合的效率更高達每次80000片。此外，ASM太平洋的專利焊頭，能夠在高溫下焊接表現依然保持高一致性，在攝氏350度的溫度下達到2μm以內的精準度，室溫作業下更可達到1μm以內，機臺的專利氣艙內進行接合，提供氮氣加強芯片保護。

ASM 太平洋Mini/ Micro LED 完整解決方案

與全球大廠低調合作，從磊晶到面板全自動化設備加速Micro LED量產

ASM太平洋除了針對Mini LED背光、Mini LED RGB以及Micro LED都有相應的機臺外，更能夠提供全自動產線方案，從送入磊晶片等材料，到后端面板制程的機臺間可以自動轉換，不須透過人手操控。應用產品也從初期的測試樣品，逐漸進入量化商品階段。

用于Micro LED的機臺聚焦于巨量轉移跟接合兩種技術方案，分階段將磊晶片依據客戶給的范圍抓取，放到暫存基板上，再轉移到目標模板上進行接合。目前巨量接合的良率更已達成99.99-100%。

“今年在各大顯示屏的展會上，不少客戶已經展出用以我們的設備做出的Micro LED產品！”顧志豪說，雖然已經跟不少公司合作超過一年半，成品效果也很好，但由于合作客戶多為國際大廠，保密條款非常嚴格，于是ASM太平洋多是低調提供其獨家技術。

顧志豪透露，現階段合作的廠商包括日本、韓國、中國大陸及***地區等多家面板大廠，產品應用范圍也涵蓋大尺寸顯示器、手機屏幕、車用顯示、透明顯示屏等等。目前AD300Pro的裝機率仍持續成長，許多客戶都已經準備將此機臺用于產品量產，并采用ASM太平洋提供的全自動化方案。

作為設備供應商，ASM太平洋看好Micro LED應用于車用透明顯示器的市場，預估2020年底有機會見到搭載Micro LED透明顯示屏幕的汽車出現在市場上。而Micro LED在穿戴裝置上的應用，如AR/VR或手表等終端產品則估計在2021年過后進入市場。