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華虹無錫集成電路研發和制造基地一期建設項目首批三臺光刻機搬入 預計將于9月進行試生產

半導體動態 ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-06-06 17:29 ? 次閱讀
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2019年6月6日,華虹無錫集成電路研發和制造基地(一期)12 英寸生產線建設項目首批三臺***搬入儀式舉行。光刻設備的搬入標志著華虹無錫基地項目建設進入新的里程,整個項目也隨即達到新高度。

華虹半導體新任總裁唐均君表示,目前,有關12英寸的工藝研發、工程、銷售和市場團隊正在緊鑼密鼓開發新產產品,為12英寸晶圓生產線的初始量產做好準備。華虹無錫基礎一期截止6月5日已經搬入35臺設備,其中25臺已經完成安裝調試,預計將于9月進行試生產,12月形成量產能力。

根據此前官方介紹,華虹無錫項目占地約700畝,總投資100億美元,一期投資25億美元,新建一條工藝等級90~65納米、月產能約4萬片的12英寸特色工藝集成電路生產線,支持5G物聯網等新興領域的應用。

該項目于2018年3月正式開工建設,計劃將于2019年上半年完成土建施工,下半年完成凈化廠房建設和動力機電設備安裝、通線并逐步實現達產。自開建以來,華虹無錫項目一直加速前進,主要工程節點均提前完成。

今年3月,華虹半導體在其年報上表示,華虹無錫已于2018年底主體結構全面封頂,預計將于2019年第二季度末完成廠房和潔凈室的建設,下半年開始搬入設備,并于2019年第四季度開始300mm晶圓的量產。

據悉,為加快實現華虹無錫的順利投產、風險量產和上量,華虹半導體在2018年啟動了55nm邏輯工藝及相關IP的研發,預計2019年下半年開始導入客戶,同時開始研發55納米嵌入式閃存工藝的存儲單元,功能驗證已通過,為未來55納米嵌入式閃存技術量產打下堅實的基礎。

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