隨著國內大力發展半導體產業，近兩年來不斷有晶圓制造、材料等重大項目密集上馬，唯獨設備業鮮有消息，不過近日傳來喜訊，中科九微半導體設備智能制造項目在四川南充啟動。

11月19日，中科九微科技有限公司半導體設備智能制造項目舉行奠基儀式，宣布項目正式開工。項目于今年9月在西博會上簽約，重點針對半導體裝備和核心部件的需求，打造一條集研發、設計、精密制造、營銷和服務一體化的產業鏈。

該項目總投資28億元，占地約290畝，將研發、生產半導體晶圓片生長設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備的核心部件和各種傳感器、控制電源等產品，并配建專家人才公寓、職工宿舍，預計2019年竣工投入使用，項目建成達產后預計可實現年銷售收入約50億元。

中科九微成立于今年9月7日，由九川科技集團、中國科學院微電子所等共同設立，是中國科學院微電子所和九川科技集團合作的重點項目，其中中國科學院微電子所占股20%。

九川科技集團是一家以生產高低壓成套、輸配電設備、超高壓變壓器、機床電器、電工建筑電器、元器件、電線電纜和數控機床等為主的大型現代化制造業集團企業，而中國科學院微電子所則為半導體業界所熟知。

中國科學院微電子所前身為成立于1958年的原中國科學院109廠，后與中國科學院半導體研究所、計算技術研究所有關研制大規模集成電路部分合并，國內微電子領域學科方向布局最完整的綜合研究與開發機構、國家科技重大專項集成電路裝備及工藝前瞻性研發牽頭組織單位等。

多年來，中國科學院微電子所在設備研發領域積累了不少經驗和IP，為中國設備公司提供支持，2017年開發了系列原子層沉積設備8個系列，推廣應用到近50家科研機構及企業。

九川科技集團擁有設備制造基礎，如今與中國科學院微電子攜手合作，將有望推進國內半導體設備國產化進程。