導讀

當半導體行業持續快速擴張，市場規模即將突破1萬億美元大關，氣體泄漏檢測“盲點”如何破解？

半導體行業繁榮背后

氣體泄漏檢測存“盲點”

隨著AI、芯片、具身智能等行業的迅猛發展，半導體行業也迎來新一輪產能擴張潮。據瑞銀預測，2026年，全球半導體行業同比增速將超過40%，市場規模將首次突破1萬億美元。

在半導體行業快速擴建投產的進程中，氣體安全至關重要。電子特氣具有可燃、有毒、有害特性，廣泛應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等制造工藝。在氣體存儲、輸送、使用過程中，可能出現氣體泄漏，威脅工作人員生命安全。依據《特種氣體系統工程技術標準》(GB50646-2020)，需安裝氣體探測裝置對其進行持續性泄漏監測。

值得注意的是，部分電子特氣化學性質穩定，如NF3、C5F8、 C4F6、 CH2F2、CH3F等，傳統的基于電化學傳感器的氣體探測器無法對其直接檢測，性能穩定性氣體成為半導體工廠中的安全檢測“盲點”。

怎么確定待測氣體中是否存在這類穩定氣體，以及如何測定其具體濃度呢？

一個確切可行的思路就是，先將待測氣體通過熱裂解方式，轉化成可被檢測的氣體，進而逆向推算出是否存在目標氣體及其濃度。這種“曲線救國”式探測方案的關鍵就在于熱裂解單元。

國內首創安全組合

漢威熱裂解單元+氣體檢測儀

漢威科技集團推出國內首創、自主研發的熱裂解單元GD-PU10、半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，可探測包括性能穩定性氣體在內的上百種可燃、有毒、有害氣體。該產品已取得多項發明專利，核心性能行業領先，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等領域。

可擴展探測性能穩定性氣體

熱裂解單元GD-PU10可通過持續高溫環境將化學性質穩定的含氟氣體裂解為化學性質活潑的HF（氟化氫）氣體，搭配半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，可擴展探測NF3、C5F8等多種含氟氣體。

上百種傳感器即插即用

傳感器采用模塊化設計，即插即用，更換維護靈活方便，支持搭配電化學、催化、光學等多種原理傳感器，滿足不同客戶的個性化需求。

ppb級高精度檢測

每種氣體傳感器均采用對應溫度補償及融合算法，可實現ppb級高精度檢測，靈敏度高、響應速度快，核心性能業內領先。

30米遠距離檢測

搭配超穩定電磁泵吸模塊，進氣管最長可達30米，輕松進行遠距離檢測，便于多個檢測儀產品矩陣化集中管理。

目前，漢威科技集團的熱裂解單元GD-PU10、半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10已成功應用于多家半導體制造工廠，獲得客戶的廣泛認可。

結語

電子特氣是半導體行業“芯片血液”，氣體安全是高質量發展的基石。漢威科技集團作為氣體傳感器與安全儀表領域的領軍企業，將以高端自研傳感器為核心的智慧安全解決方案護航半導體行業安全。