01氣體安全

半導體行業的重要一環

近年來，半導體行業氣體泄漏事件時有發生，其中不乏美國、日本、韓國等知名半導體制造企業，由此衍生出的爆燃、光刻機損毀、超凈車間毀壞、晶圓批量報廢、人員傷亡等事故令人觸目驚心。

電子氣體是半導體制造過程中不可或缺的基礎材料，品類多達上百種，成本約占芯片總成本的13%，被譽為“芯片血液”。

電子氣體多為易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性氣體，一旦發生泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。

氣體安全是半導體行業高質量發展的重要一環。《特種氣體系統工程技術標準》(GB50646-2020)中有強制性規定，在儲存、輸送、使用特種氣體的區域或場所，如氣瓶柜和閥門箱的排風管口處、廢氣處理裝置排風出管口處、惰性氣體車間等，應設置特種氣體探測裝置。

02高性能傳感加持

半導體行業專用氣體檢測儀

漢威科技集團推出的半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10，是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的高端自研產品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點，可檢測氨氣、砷化氫、氯氣、硅烷等上百種氣體，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業。

廣泛覆蓋

支持上百種氣體檢測

支持電化學、催化、光學等多種原理的氣體傳感器，可檢測上百種氣體，支持個性化定制。

使用方便

傳感器模組即插即用

傳感器采用模塊化設計，即插即用，更換、維護更方便靈活。

性能領先

超遠距離高精度檢測

進氣管長達30米，可進行超遠距離檢測；每種氣體均采用對應溫度補償及融合算法，可實現ppm級高精度精準檢測。

直觀顯示

點陣式大屏一目了然

點陣式LCD大屏顯示界面美觀易讀，氣體名稱、濃度、報警情況等一目了然，適合國內用戶習慣。

目前，漢威科技集團的半導體工廠氣體檢測儀GD-HS10已經成功應用于多家半導體制造工廠，并獲得用戶的一致認可。

結語

半導體行業是關乎國家安全和科技競爭力的戰略性先導產業，氣體安全是行業高質量發展的重要一環。作為氣體傳感器與安全儀表領域的領軍企業，漢威科技集團將以高端自研產品護航半導體行業發展。