電子發燒友網報道(文/莫婷婷)市場調研機構集邦咨詢的數據顯示,2023年全球氮化鎵功率元件市場規模約為2.71億美元,到2030年或將達到43.76億美元,年復合增速高達49%。在市場增長的同時,國內氮化鎵硅片企業也在加速布局,就在今年9月,中欣晶圓宣布公司8英寸氮化鎵外延制備用重摻硼超厚拋光硅片打破進口依賴,填補了國內相關技術空白。
中欣晶圓主營業務為半導體硅片的研發,在產品布局方面,已具備4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸拋光片以及12英寸外延片產品研發,構建了完整的硅片技術儲備體系。
中欣晶圓市場部長周笛在2025灣區半導體產業生態博覽會(灣芯展)演講中指出,當前硅片行業依舊由大尺寸硅片主導,例如12英寸硅片出貨面積占比超過8成,且市場需求持續在增長。不同尺寸硅片在技術節點、應用領域和產能狀態上各有側重,共同推動著半導體產業鏈的持續升級。
其中12英寸晶圓聚焦于成熟及先進制程,深度滲透至手機處理器、高性能計算機、FPGA、ASIC、存儲、射頻、藍牙、GPS導航等前沿領域,正處于關鍵節點突破的階段。8英寸晶圓則在硅片市場形成差異化競爭,主要用于成熟制程與特種制程,廣泛應用于存儲計算、邊緣計算、物聯網、功率器件等領域,當前亦處于產能擴張階段,精準適配新興場景的定制化需求。而4-6英寸小直徑晶圓憑借穩定的量產能力,在SOI、GaN、MOSFET、IGBT等細分領域持續發力,全球產能保持平穩。
在氮化鎵硅片領域,技術創新是中欣晶圓的核心競爭力。公司自主開發了多項關鍵技術,包括:自主研創的超厚硅片制造技術,實現硅片厚度的精準控制;獨特的定位分段式涂膜工藝技術,有效提升膜層均勻性;自主創新的金屬Cu(銅)控制技術;優異的硅片曲度控制技術,保障大尺寸硅片的平面度;以及凸出的拋光片面粗糙度控制技術,提升表面潔凈度與一致性。
在國際氮化鉀應用領域中,各項關鍵技術指標對硅片質量具有直接影響——其核心參數嚴格規定了硅片的平整度、曲率、背面厚度、整體厚度及顆粒度等關鍵特性。中欣晶圓建立了統一的技術規范體系,通過優化加工工藝,成功實現了優質超厚拋光硅片的穩定生產。
周笛表示,中欣晶圓的產品相較進口產品,具有拋光精度優異、表面狀態更潔凈、硅片厚度及均一性、電阻率均勻性突出等優勢。在電阻率均勻性方面,中欣晶圓產品的中心值為0.007152歐厘米,競品為0.000845歐厘米。
中欣晶圓的創新不僅填補了國內高端硅片的技術空白,也使中欣晶圓的產品具備替代進口的能力,技術水平達到國內領先水平。今年5月30日,中欣晶圓官方宣布,公司所有產品合計月銷售量首次突破100萬片。
就在今年9月,中欣晶圓在高端襯底材料領域也迎來進展,其自主研發的“8英寸氮化鎵外延制備用重摻硼超厚拋光硅片”憑借多項核心工藝創新打破進口依賴。中欣晶圓介紹,該產品基于超厚硅片制造、低表面粗糙度控制、金屬Cu控制、硅片平整度與曲度控制、分段式涂蠟工藝、特殊硅片背面薄膜生長以及拋光面顆粒控制等關鍵技術,全面滿足客戶在外延制備中的高性能需求。
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