9月4-6日，匯專將攜兩款全新機型——超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS、超聲雙主軸立式加工中心 UDV-550重磅亮相第十三屆半導體設備與核心部件及材料展（CSEAC 2025），展示半導體行業超聲高效加工解決方案，誠邀您蒞臨B3-339展位參觀交流！

CSEAC 2025以“做強中國芯，擁抱芯世界”為主題，展館面積超60,000㎡，參展企業逾1,100家，涵蓋晶圓制造設備、封測設備、核心部件、材料等五大主題展區，將橫跨七個展館，全方位呈現半導體產業的技術革新與生態活力。

一、匯專展位為何不容錯過？

●兩款全新機型展會首秀：匯專將推出全新機型超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS、超聲雙主軸立式加工中心 UDV-550，助力半導體行業客戶解鎖精密制造新篇章。

● 豐富零部件產品陣容：集中展示超聲刀柄、超硬刀具、冷壓刀柄、冷壓機、精密轉臺，全面覆蓋高效精密加工需求。

● 沉浸式實操體驗：在超聲振幅測量與超聲振動體驗區、微孔放大觀察區，觀眾不僅能親身體驗匯專超聲設備，還能通過顯微鏡觀察整體PCD刀具加工后的工件微小孔表面質量情況。

● 幸運抽獎活動：打卡匯專展位，參與幸運大轉盤、歡樂投一骰活動，還有機會贏取超高清投影儀、便攜茶具套裝、大容量充電寶等豐厚禮品！

二、機床新品速遞

（1）超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS

產品亮點：

●超聲電主軸最高轉速40,000rpm

●全行程定位精度≤2.5μm，重復定位精度≤1.8μm

●Z軸采用直線電機，有效提升加工效率和刀具壽命

●配備刀具監控系統，可監測小刀具在加工過程中的磨損和斷刀情況

●光柵尺全閉環控制

●迷宮結構，三層防護

（2）超聲雙主軸立式加工中心UDV-550

產品亮點：

●配置雙超聲主軸，獨立控制，一次裝夾實現雙零件同步加工

●大扭矩伺服電機，具備高精度與高動態響應性

●導軌絲杠防護鈑金采用迷宮設計，多層防護

●采用滾柱導軌，剛性高

三、匯專方案突破傳統加工桎梏

CVD（化學氣相沉積）碳化硅材料因其具有出色的熱、電和化學性質的獨特組合，被廣泛應用于半導體刻蝕設備零部件加工。然而，CVD碳化硅材料屬于難加工的硬脆材料，在傳統加工過程中易產生崩缺現象，并且刀具壽命短，刀具容易折斷并殘留在孔內，導致工件報廢。

噴淋盤是芯片制造設備刻蝕機的核心部件之一。在 CVD碳化硅噴淋盤的加工中，D1.0/D0.5mm階梯孔的加工任務更是極具挑戰性，其工件硬度高達HV3,150，加工孔徑小，鉆削加工難度大，對加工精度和穩定性要求極高。目前，高精度碳化硅噴淋盤仍需要依賴國外進口，加工周期漫長、成本居高不下。

材料：CVD碳化硅（HV3,150）

加工特征：D1.0*5.8mm / D0.5*5.4mm階梯孔

對此，匯專憑借在高端超聲綠色數控機床及關鍵部件的研制經驗，推出了針對性的半導體行業超聲高效加工解決方案。采用匯專超聲綠色雕銑加工中心UEM-600 PLUS，搭配自主研發的超聲振幅測量儀、超聲冷壓刀柄及高效飛速PCD鉆頭進行加工，單孔加工時間從11分25秒縮短至5分58秒，加工效率提升47.8%，刀具壽命提升160%，加工成本降低50%，顯微鏡放大至50倍檢測，孔口崩邊量≤0.02mm。

除了在CVD碳化硅噴淋盤加工上實現創新突破，該系列加工中心搭配匯專超聲加工技術和整體PCD刀具的解決方案，在硬脆材料、金屬材料、工程塑料等超深微孔及高精度質量加工中具有明顯優勢，成功加工了單晶硅曲面電極、多晶硅柵極環、石英玻璃噴淋盤、石英輕量化反射鏡鏡片、藍寶石工件、不銹鋼工件、工程塑料探針卡等半導體零件，有效提升加工效率，改善工件表面質量，實現連續穩定加工。

欲了解更多創新產品及解決方案，9月4-6日，敬請蒞臨無錫太湖國際博覽中心B3-339匯專展位。