電子發燒友網報道（文 / 吳子鵬）日前，日本關東電化工業株式會社（以下簡稱 “關東電化”）發布公告稱，2025 年 8 月 7 日凌晨 4 時 30 分，該公司位于群馬縣澀川市的三氟化氮（NF?）生產設施發生爆炸并引發火災，造成一名員工死亡、一人受傷。此次事故導致該工廠兩條生產線中的一條嚴重損毀，三氟化氮產能全面中斷，預計至少停產 6 個月。

值得注意的是，關東電化是全球第三大三氟化氮（NF?）供應商，其澀川工廠的年產能為 3700 噸，占全球 NF?產能的 8%。爆炸導致該工廠短期無法恢復生產，預計 2025 年全球 NF?供應將直接減少 1850 噸（半年產能），對需要 NF?材料的產業鏈直接造成沖擊，其中就包含半導體制造領域。

NF?的主要應用和斷供影響

NF?是一種強氧化劑，因其獨特的化學性質和高純度要求，廣泛應用于高科技和工業領域。在半導體制造領域，NF?主要用于精密清洗與蝕刻：它是半導體晶圓制造中腔體清洗的核心材料，可去除沉積在反應腔內壁的硅、金屬雜質及聚合物殘留。其獨特優勢在于，在氫稀釋環境下，NF?與 H?反應生成 HF，僅蝕刻二氧化硅而不損傷硅基底，這對 3nm 以下先進制程尤為關鍵；且能在 450℃以下實現高效清洗，避免高溫對脆弱晶體管結構的損害，支持 AI 芯片、GPU 等高性能器件的量產。此外，NF?還用于等離子體蝕刻和化學氣相沉積（CVD）的輔助氣體，例如在 FinFET 結構中蝕刻高深寬比溝槽，或在 3D NAND 堆疊層間沉積隔離層。

在顯示面板與太陽能電池領域，NF?是關鍵耗材。在顯示面板行業，它可用于清洗蒸鍍設備腔體，確保有機發光材料的均勻沉積。據悉，韓國三星、LG 等廠商的 6 代以上產線對 NF?的需求占全球顯示面板領域的一半以上。而在光伏制造行業，硅片表面鈍化層沉積前，經 NF?清洗可提升鈣鈦礦電池的轉換效率。

因此，若 NF?供應中斷，將對相關行業產生顯著沖擊。比如在半導體領域，關東電化占日本 NF?產量的 90%，日本的 NF?供應幾乎完全依賴該公司，這凸顯了供應鏈過度集中的風險。另外，NF?是半導體制造中用量最大的電子特氣，其純度需達 99.9999%（6N 級）以滿足先進制程需求，而全球僅 5 家企業掌握 5N 級以上量產技術。目前，關東電化已暫停部分業務，啟動設備檢修和安全評估，承諾盡快恢復生產并防止類似事件重演。但市場預計其復產至少需 1-1.5 年，期間業績將顯著承壓。

關東電化有多個存儲客戶

需要關注的是，關東電化有多個存儲領域的客戶，包括三星、鎧俠、美光等。由于 NF?供應不足，存儲芯片制造商可能需要調整生產計劃，甚至暫停部分生產線，導致存儲芯片生產延遲。這將直接影響存儲芯片的市場供應，尤其是對于依賴 NF?的先進制程存儲芯片，如 3D NAND 閃存等。

受供應減少和生產成本上升影響，存儲芯片價格可能會上漲。這將對存儲芯片的下游應用市場，如智能手機、電腦、數據中心等，產生連鎖反應，導致相關產品價格上漲。彭博社指出，鎧俠預計不會對生產或 7 月至 9 月的收益產生影響，并引用了其擁有多個供應商和庫存作為支撐。

當然，日本本土芯片制造同樣需要保障自身的供應安全。據日刊報道，臺積電的熊本工廠（位于熊本縣菊池市）于 2024 年開始運營，其 NF?從多個供應商處獲取，其中包括關東電化。問題更為嚴峻的是日本瑞昱，該公司的 NF?幾乎完全依賴關東電化。有日媒報道稱，日本經濟、貿易和產業部可能會直接介入解決此事，舉措包括從韓國直接進口 NF?。

利好國內 NF?材料廠商？

從產業鏈供應來看，關東電化爆炸事件給國產 NF?廠商帶來了顯著利好。關東電化爆炸導致全球 NF?供應減少約 1850 噸（半年產能），占全球產能的 8%。這一供應缺口為國產 NF?廠商提供了巨大的市場機會。

此外，三井化學計劃在 2026 年退出 NF?市場，預計 2026 年全球 NF?缺口將達到數千噸。這些事件都為國內 NF?供應商提供了機遇。中國特氣等廠商有望填補部分供應缺口，加速半導體氣體的國產替代進程。例如，中船特氣、南大光電等企業正在加速產能建設，提升市場供應能力。

目前，國內的 NF?供應商主要有中船特氣、南大光電、昊華科技、福建德爾、廣鋼氣體、華特氣體等。

其中，中船特氣已具備大規模生產 NF?的能力，技術成熟度高，成本優勢明顯，其產品已進入國內外主流面板廠及部分成熟制程半導體廠的供應鏈。中船特氣的高純 NF?純度可達到 5N 級別，主要產品技術指標處于行業一流水平，各類雜質含量較低，處于全球領先地位。這表明其產品能夠滿足高端半導體制造對 NF?純度的嚴格要求。同時，中船特氣是國內最早開始從事電子特種氣體研發和產業化的單位之一，在 NF?生產技術方面積累了豐富的經驗，生產工藝成熟度高，能夠穩定地生產高質量的 NF?產品。

在產能方面，中船特氣的 NF?產能已達 18500 噸 / 年，超過韓國 SK Specialty（13500 噸），成為全球三氟化氮產能最大的供應商。其呼和浩特子公司高純電子氣體項目（一期）新增 7500 噸產能已投產，進一步鞏固了其在全球 NF?市場的領先地位。目前，中船特氣的 NF?已經打入臺積電、美光、海力士、英特爾、英飛凌、格羅方德、中芯國際、長江存儲、長鑫存儲、華虹集團、華潤集團、LGD、京東方、華星光電等知名企業的供應鏈。

結語

此次日本關東電化三氟化氮工廠爆炸事故，疊加三井化學 2026 年的退出計劃，不僅加劇了全球 NF?供應的緊張態勢，更意外為國內電子特氣產業打開了加速成長的窗口。全球 8% 的產能缺口與未來數千噸的潛在供需失衡，既暴露了半導體等高端制造領域供應鏈過度集中的風險，也讓具備技術積累與產能優勢的中國廠商迎來了關鍵機遇。

國內企業中以中船特氣為代表，該公司憑借 5N 級以上高純產品的技術突破、1.85 萬噸 / 年的全球最大產能，以及已打入臺積電、美光、中芯國際等國內外主流供應鏈的扎實布局，正從 “填補缺口” 向 “主導市場” 邁進。