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海伯森檢測應用案例之--光學板輪廓及瑕疵檢測

海伯森技術 ? 2025-08-13 10:59 ? 次閱讀
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光學板(如光學玻璃、亞克力板、導光板等,廣泛應用于顯示設備、光學儀器、激光系統等領域)的輪廓及瑕疵檢測是保障其光學性能、結構適配性和使用可靠性的關鍵環節,主要目的如下:
一、確保輪廓精度,保障結構與功能適配
光學板的輪廓(如尺寸、平整度、彎曲度、邊緣角度等)直接影響其在設備中的裝配精度和功能實現:
結構適配性:在精密光學系統(如鏡頭模組、投影儀光路)中,光學板的輪廓尺寸需與其他部件嚴格匹配,若輪廓偏差過大(如厚度不均、邊緣不平整),會導致裝配間隙超標、光路偏移,甚至無法正常安裝。
光學性能穩定性:部分光學板(如導光板、棱鏡)的輪廓設計直接決定光線的折射、反射路徑,輪廓精度不足會導致光路紊亂(如顯示設備亮度不均、光學儀器成像模糊),檢測輪廓可確保其符合光學設計參數。
機械強度保障:輪廓缺陷(如邊緣崩裂、厚度突變)可能導致應力集中,降低光學板的抗沖擊性,在后續加工或使用中(如受振動、溫度變化)易斷裂,影響設備壽命。
二、滿足高端領域的嚴苛要求
在高端應用場景(如半導體光刻、航天光學系統、醫療精密儀器)中,光學板的輪廓精度和瑕疵容忍度極低(甚至要求 “納米級” 誤差、零可見瑕疵),檢測的目的更聚焦于:
確保光學系統的極限性能(如光刻機的光學板輪廓誤差需控制在微米級,否則直接影響芯片制程精度);保障設備的長期穩定性(如衛星光學鏡頭的光學板,微小瑕疵可能在太空環境中因輻射、溫差逐漸擴大,導致任務失敗)。
綜上,光學板的輪廓及瑕疵檢測本質是通過對 “結構精度” 和 “光學純凈度” 的雙重把控,確保其在光學系統中既能精準適配、高效發揮功能,又能在長期使用中保持穩定與安全,尤其對高端領域的設備性能和可靠性起到決定性作用。

01.檢測需求

根據客戶提供的測試需求,利用線光譜掃描光學板表面輪廓,對數據輪廓進行分析得出凹槽深度、寬度數據,以及表面的缺陷檢測。

02.選型及原理

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03.檢測過程圖

wKgZO2ib_WWAUVOOAAnbNGqlFpM846.pngwKgZPGib_XeAbFjqAAUUGlO1mmg835.png

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截取計算三個凹槽的深度寬度數據分別為:凹槽1深度26.2um,寬度164.4um、凹槽2深度28.1um,寬度151.4um、凹槽3深度28.7um,寬度158.4um。

wKgZPGib_lWAdXO7AAx8nQ4LwZg152.png

04.設備結論

用LCX1000掃描光學板上表面圖像可以清晰得到凹槽的輪廓,凹槽的深度、寬度可用我們客戶端手動截取簡單計算(因手動劃取區域寬度信息定義沒那么標準),凹槽的弧度可用其他視覺軟件進行處理計算。同時光學板上的瑕疵清晰可見,所以亦可檢測其瑕疵缺陷。

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