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致真精密儀器原子力顯微鏡交付多家標(biāo)桿客戶

致真精密儀器 ? 來(lái)源:致真精密儀器 ? 2025-04-23 10:36 ? 次閱讀
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在高端科研儀器國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中,致真精密儀器持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新與場(chǎng)景化解決方案賦能科研與產(chǎn)業(yè)升級(jí)。近期,致真自主研發(fā)的原子力顯微鏡(AFM)產(chǎn)品成功交付探生科技、東北大學(xué)、廈門大學(xué)等多家標(biāo)桿客戶,針對(duì)不同領(lǐng)域的科研與產(chǎn)業(yè)需求,提供了兼具性能優(yōu)勢(shì)與定制化功能的高端檢測(cè)設(shè)備,標(biāo)志著國(guó)產(chǎn) AFM 在多領(lǐng)域應(yīng)用場(chǎng)景中的全面落地。

一、探生科技:多功能模塊支撐探針驗(yàn)證

探生科技采購(gòu)的致真 AtomExplorer 型原子力顯微鏡,憑借集成的多功能模塊,為客戶自研探針的各類驗(yàn)證提供了有力支持,成為其研發(fā)平臺(tái)的核心裝備。這款科研級(jí)原子力顯微鏡具備亞納米級(jí)高分辨率,能夠精準(zhǔn)觀察材料表面形貌與紋理,無(wú)論是納米級(jí)別的細(xì)微結(jié)構(gòu),還是微米級(jí)別的宏觀特征,都能清晰捕捉,為材料與芯片表面形貌分析提供詳盡的視覺(jué)信息。

在功能拓展方面,Atom Explorer 還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開(kāi)爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡等多種功能模塊。其穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好,能夠根據(jù)客戶需求提供定制化服務(wù)。

二、東北大學(xué):自動(dòng)化儀器賦能高效科研

針對(duì)材料科學(xué)與智能制造領(lǐng)域的高頻檢測(cè)需求,東北大學(xué)采購(gòu)的致真AtomEdge 型原子力顯微鏡,以 "智能化 + 易用性" 重新定義科研設(shè)備操作范式。設(shè)備自動(dòng)化程度高,操作流程簡(jiǎn)單無(wú)需過(guò)多設(shè)置;機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,換針操作簡(jiǎn)單,顯著降低科研人員的技術(shù)門檻,尤其適合多課題組共享使用場(chǎng)景。

三、廈門大學(xué):多功能集成打破學(xué)科壁壘

廈門大學(xué)采購(gòu)的致真AtomExplorer 型原子力顯微鏡,一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)多種功能,包含形貌表征(輕敲模式、接觸模式)、磁學(xué)測(cè)量(MFM 磁力顯微鏡)、電學(xué)分析(EFM 靜電力顯微鏡、KPFM 開(kāi)爾文探針力顯微鏡、PFM 壓電響應(yīng)力顯微鏡、STM 掃描隧道顯微鏡)等前沿功能,覆蓋材料科學(xué)、凝聚態(tài)物理、電子信息等多個(gè)學(xué)科的檢測(cè)需求,吸引了多個(gè)課題組前來(lái)培訓(xùn)學(xué)習(xí)。

四、國(guó)產(chǎn)高端儀器的破局之道:

從技術(shù)領(lǐng)先到場(chǎng)景深耕

1.科研級(jí)原子力顯微鏡 AtomExplorer

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

AtomExplorer科研級(jí)原子力顯微鏡具備亞納米級(jí)高分辨率,用于觀察材料表面形貌、紋理,能夠在納米級(jí)別到微米級(jí)別的尺度上捕捉材料表面的微小特征和細(xì)微結(jié)構(gòu),為材料與芯片的表面形貌提供詳盡的視覺(jué)信息。該產(chǎn)品還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開(kāi)爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡;穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好,提供定制服務(wù)。該產(chǎn)品作為高精度形貌表征和納米磁學(xué)、電學(xué)測(cè)量工具,為高端科研與企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)提供更多選擇和助力。

產(chǎn)品特點(diǎn):

體積小巧,適用于各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境

標(biāo)配靜電力(EFM)、壓電力(PFM)、磁力(MFM)、開(kāi)爾文(KPFM)

軟件開(kāi)放 可以用Labview調(diào)用

設(shè)備性能:

掃描范圍 最大100 μm×100 μm×10 μm
掃描方式 XYZ三軸全樣品掃描
X/Y噪聲水平 0.4 nm
Z向噪聲水平 0.05 nm(開(kāi)環(huán))
非線性度 XY 0.02%,Z 0.08%
圖像采集點(diǎn) 32×32~4096×4096
樣品臺(tái)尺寸 Φ20 mm
工作模式 輕敲模式、接觸模式、抬起模式、相位成像模式
多功能測(cè)量 靜電力顯微鏡 (EFM)、掃描開(kāi)爾文顯微鏡 (KPFM)、壓電力顯微鏡 (PFM)、磁力顯微鏡 (MFM)

2.小樣品原子力顯微鏡AtomEdge

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

AtomEdge小樣品原子力顯微鏡可對(duì)材料、電子器件、生物樣本等進(jìn)行三維掃描成像。本產(chǎn)品最大可兼容4英寸樣品,具備接觸、輕敲、非接觸等多種工作模式,為用戶提供了更為靈活和精準(zhǔn)的操作選擇。此外,它還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、掃描開(kāi)爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡、刻蝕和納米操作等多種功能模式,穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好。根據(jù)實(shí)際需求,還可拓展近場(chǎng)光學(xué)、拉曼/熒光光譜聯(lián)用、外加磁場(chǎng)、聲學(xué)原子力等功能,是一款真正意義上的小樣品原子力顯微鏡。

設(shè)備性能:

樣品尺寸 最大直徑100 mm,厚度10 mm,兼容直徑100 mm培養(yǎng)皿
掃描方式 XYZ三軸全樣品掃描
掃描范圍 90 μm×90 μm×9 μm
掃描速率 0.1 Hz~20 Hz
XY方向噪聲水平 0.2 nm閉環(huán),0.02 nm開(kāi)環(huán)
Z方向噪聲水平 0.04 nm閉環(huán),0.03 nm開(kāi)環(huán)
非線性度 XY方向0.15%,Z方向:1%
圖像采樣點(diǎn) 32×32 ~ 4000×4000
工作模式 接觸、輕敲、非接觸
適配環(huán)境 空氣、液相
多功能測(cè)量 靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開(kāi)爾文顯微鏡(KPFM)、壓電力顯微鏡(PFM)、導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)、掃描電容力顯微鏡(SCFM)、磁力顯微鏡(MFM)、橫向力顯微鏡(LFM)、納米刻蝕/加工、單點(diǎn)力譜曲線、力調(diào)制模式

應(yīng)用案例:

3.大樣品原子力顯微鏡AtomMax

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征,可實(shí)現(xiàn)大晶圓級(jí)大樣品形貌表征。電動(dòng)樣品定位臺(tái)與光學(xué)圖像相結(jié)合,可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1μm的定位精度,激光對(duì)準(zhǔn),探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整完全自動(dòng)化操作。

設(shè)備性能:

樣品尺寸 8寸晶圓并向下兼容
掃描范圍 最大100 μm×100 μm×10 μm
掃描角度 0-360°
分辨率 Z軸閉環(huán)分辨率0.15 nm;
X/Y閉環(huán)分辨率0.5 nm
掃描探針XY方向圖像分辨率 不小于32X32~4000X4000
工作模式 接觸模式、輕敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向掃描模式
多功能測(cè)量 靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開(kāi)爾文顯微鏡(KPFM)、壓電力顯微鏡(PFM)、磁力顯微鏡(MFM)

應(yīng)用案例:

此次多領(lǐng)域交付,不僅展現(xiàn)了致真 AFM 在噪聲控制(開(kāi)環(huán)縱向噪聲低至 0.03nm)、分辨率(三維納米級(jí))、環(huán)境兼容性(空氣、液相)等核心性能上的國(guó)際對(duì)標(biāo)實(shí)力,更體現(xiàn)了其 "以客戶需求定義產(chǎn)品" 的研發(fā)理念 —— 針對(duì)產(chǎn)業(yè)客戶強(qiáng)調(diào)模塊化與效率,針對(duì)高校客戶側(cè)重多功能與易用性,真正實(shí)現(xiàn) "一客一策" 的精準(zhǔn)賦能。

隨著半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對(duì)納米表征技術(shù)的需求爆發(fā),致真正以 "國(guó)產(chǎn)儀器 + 場(chǎng)景化解決方案" 雙輪驅(qū)動(dòng),致力于加速實(shí)現(xiàn)高端科研裝備的自主可控,為中國(guó)科技創(chuàng)新注入 "硬核" 力量。

關(guān)于我們

致真精密儀器是以高端科研儀器、教學(xué)儀器、集成電路產(chǎn)線測(cè)試設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)為主要業(yè)務(wù)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、山東省瞪羚企業(yè)、國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)。

一直以來(lái)致力于實(shí)現(xiàn)高端科技儀器和集成電路測(cè)試設(shè)備的自主可控和國(guó)產(chǎn)替代。致真精密儀器通過(guò)工程化和產(chǎn)業(yè)化攻關(guān),已經(jīng)研發(fā)了一系列磁學(xué)與自旋電子學(xué)領(lǐng)域的前沿科研設(shè)備,包括“原子力顯微鏡、高精度VSM、MOKE等磁學(xué)測(cè)量設(shè)備、各類磁場(chǎng)探針臺(tái)、磁性芯片測(cè)試機(jī)等產(chǎn)線級(jí)設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、集成電路裝備實(shí)訓(xùn)解決方案”等,如有需要,我們的產(chǎn)品專家可以提供免費(fèi)的項(xiàng)目申報(bào)輔助、產(chǎn)品調(diào)研與報(bào)價(jià)、采購(gòu)論證工作。

另外,我們可以為各位老師提供免費(fèi)測(cè)試服務(wù),有“磁疇測(cè)試”、“SOT磁疇翻轉(zhuǎn)”、“斯格明子觀測(cè)”、“轉(zhuǎn)角/變場(chǎng)二次諧波”、“ST-FMR測(cè)量”、“磁控濺射鍍膜”等相關(guān)需求的老師,可以隨時(shí)與我們聯(lián)系。

我們希望與更多優(yōu)秀科研工作者和產(chǎn)業(yè)工作者合作,持續(xù)提供更加專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和完善的行業(yè)解決方案!歡迎聯(lián)系我們!

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原文標(biāo)題:致真精密儀器原子力顯微鏡多領(lǐng)域交付:以國(guó)產(chǎn)技術(shù)創(chuàng)新賦能科研與產(chǎn)業(yè)升級(jí)

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