半導體行業在芯片制程工藝中，因其不間斷使用有機溶劑和酸溶液直接產生了大量的有毒有害的廢氣。比如在硅料清洗環節，所用的清洗液（酸、堿、有機溶劑）各不相同，吹干后就會產生大量氮氧化物（主要為NO、NO2、N2O3、N2O4、N2O5等），在空氣中被氧化成NO2，是一種有毒具有強烈刺激性的紅棕色氣體。

這些廢氣如果沒有經過處理就排放到外界中，就會造成環境污染、生態破壞甚至危害人體健康，因此需要加強對這些廢氣的監控管理能力，以確保環境安全。對此，物通博聯提供基于工業智能網關的硅料廢氣處理遠程監控物聯網系統方案。

現場設有酸洗廢氣塔、堿洗廢氣塔、浸泡廢氣塔三套廢氣噴淋塔，同時配套自動加藥系統。因此通過接入PLC，網關能夠實時采集氮氧濃度、煙氣流速、煙氣壓力、煙氣溫度、煙氣濕度等數據，并通過5G/4G/WIFI/以太網等方式對接到云平臺或本地上位機中，實現對廢氣處理的遠程監控、管理、控制與數據分析，確保廢氣治理安全。

實現功能

1、整合多種傳感器與儀器儀表，以實現對廢氣中VOCs含量、排放量以及溫濕度、流速、氣壓等相關環境參數的即時監測與采集。

2、支持HJ212協議傳輸，能夠將采集的數據傳輸至環保局平臺，同時也支持本地監控平臺的對接。此外還具備多網絡備份與斷點續傳機制，確保數據傳輸的穩定性與可靠性。

3、對收集到的數據進行標準化處理與邊緣計算，進而生成詳盡的報表與直觀的數據可視化界面，助力用戶全面把握VOCs排放狀況，及時獲取超標告警信息。

3、一旦監測到數據超標，系統便會立即通過短信、微信、郵件等多種渠道向相關管理人員發送告警信息，以便他們迅速定位問題、診斷原因，并采取相應的應對措施。

4、該系統能夠與其他環保設備（如催化燃燒設備、風機等）實現遠程聯動控制。當VOCs濃度超標并觸發報警時，管理員可以遠程操控這些設備的啟停。

審核編輯 黃宇