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周星工程研發ALD新技術,引領半導體工藝革新

CHANBAEK ? 來源:網絡整理 ? 作者:網絡整理 ? 2024-07-17 10:25 ? 次閱讀
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半導體技術日新月異的今天,韓國半導體廠商周星工程(Jusung Engineering)憑借其最新研發的原子層沉積(ALD)技術,再次在全球半導體行業中引起了廣泛關注。據韓媒報道,這項技術能夠在生產先進工藝芯片時顯著降低極紫外光刻(EUV)工藝步驟的需求,為半導體制造領域帶來了革命性的突破。

周星工程董事長Chul Joo Hwang在談及這項技術創新時表示,當前DRAM和邏輯芯片的擴展已經逼近物理極限,傳統微縮技術的潛力逐漸耗盡。面對這一挑戰,半導體行業迫切需要尋找新的解決方案,以延續摩爾定律的輝煌。在此背景下,堆疊晶體管技術應運而生,成為突破尺寸限制的重要途徑。正如NAND Flash通過垂直堆疊實現了存儲密度的飛躍,DRAM和邏輯芯片也將借鑒這一思路,通過堆疊晶體管來克服擴展難題。

ALD技術的引入,正是這一轉型過程中的關鍵一步。與傳統的沉積技術相比,ALD具有出色的保形涂層能力和高度的厚度控制精度,即使在復雜的3D結構表面也能實現均勻且高質量的薄膜沉積。這一特性使得ALD在制造全柵(GAA)晶體管等先進半導體器件時顯得尤為重要。通過堆疊晶體管,半導體廠商可以在不增加芯片面積的前提下,大幅提升存儲密度和性能,從而滿足市場對于更小、更快、更高效的芯片需求。

Chul Joo Hwang進一步指出,隨著堆疊晶體管技術的普及,ALD機器的需求也將迎來爆發式增長。除了DRAM和邏輯芯片外,III-V和IGZO(氧化銦鎵鋅)等新型半導體材料的生產同樣需要ALD設備的支持。這些材料在高頻、高速、低功耗等領域具有顯著優勢,是未來半導體技術發展的重要方向。因此,ALD技術的廣泛應用不僅有助于解決當前半導體制造的瓶頸問題,還將為整個行業帶來更加廣闊的發展前景。

綜上所述,周星工程研發的ALD技術無疑為半導體行業注入了一股新的活力。通過降低EUV工藝步驟需求、推動堆疊晶體管技術的發展,這項技術正引領著半導體制造工藝向更加高效、更加精細的方向邁進。隨著技術的不斷成熟和普及,我們有理由相信,未來的半導體產品將更加小巧、更加強大,為人類社會的科技進步和經濟發展貢獻更大的力量。

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