在科學研究和精密制造領域，對材料表面特性的準確測量至關重要。共聚焦顯微鏡作為一種先進的顯微成像技術，提供了一種非接觸、高分辨率的表面分析手段。深圳市中圖儀器股份有限公司推出的VT6000系列共聚焦顯微鏡，以其卓越的性能和多功能性，為微納米級測量提供了全面的解決方案。

產品概述

VT6000系列共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術原理，結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對器件表面進行非接觸式掃描，建立精確的3D圖像。該系列產品能夠廣泛應用于半導體制造、3C電子產品、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等多個領域，為科研和工業應用提供了強有力的支持。

產品功能

1.微觀形貌測量：設備能夠測量物體表面的輪廓尺寸和粗糙度。

2.自動拼接功能：快速實現大區域的拼接縫合測量，提高測量效率。

3.一體化測量分析軟件：軟件自動統計測量數據并提供報表導出功能，支持批量測量。

4.數據處理功能：包括位置調整、糾正、濾波和提取等模塊。

5.五大分析功能：包括粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析和功能分析。

6.輔助分析工具：一鍵分析和多文件分析功能，實現批量數據文件的快速分析。

應用領域

VT6000系列共聚焦顯微鏡可用于測量和分析各種產品、部件和材料的表面形貌特征，如面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度等。

性能特色

1.高精度與高重復性：基于轉盤共聚焦光學系統和高穩定性結構設計，保證了測量精度和重復性。

2.隔震設計：有效消減底面振動噪聲，確保在嘈雜環境中的穩定性和可靠性。

3.一體化操作軟件：提供測量與分析同界面操作，實現快速批量測量，具備自定義分析模板功能。

4.精密操縱手柄：集成X、Y、Z三個方向位移調整，快速完成測量前工作。

5.雙重防撞保護：軟件和機械電子傳感器雙重保護，降低操作風險。

技術指標

-行程范圍：根據型號不同，X和Y行程范圍從100mm到300mm，Z行程為100mm。

-顯微物鏡：提供10×;20×;50×;100×不同倍數的物鏡，視場范圍從120×120μm到1.2×1.2 mm。

-高度測量：重復性達到12nm，精度為±(0.2+L/100)μm。

- XY位移平臺：負載能力達10kg，控制方式為電動。

-工作環境：適應多種環境條件，包括電源、溫度、濕度和振動等。

產品配置

VT6000系列共聚焦顯微鏡的標準配置包括主機、物鏡、自動位移臺、電動物鏡轉盤、計算機、操縱手柄、軟件等。此外，還提供多種可選配置，以滿足不同用戶的需求。

總結而言，VT6000共聚焦顯微鏡以其高精度、高重復性、一體化操作和強大的分析功能，在微納米級測量領域提供了一個可靠的選擇。無論是在科研探索還是在精密制造過程中，它都能為用戶提供深入洞察微觀世界的窗口。