5月24 - 26日，在首屆“科學(xué)儀器開發(fā)者大會(huì)”上，致真精密儀器自主研發(fā)的原子力顯微鏡系列產(chǎn)品重磅發(fā)布！此次發(fā)布的產(chǎn)品包括

多功能原子力顯微鏡（AtomicaPrecision）、晶圓級(jí)原子力顯微鏡（Wafer Mapper-M）。

該產(chǎn)品穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好、提供定制服務(wù)；可拓展橫向力顯微鏡、靜電力顯微鏡、磁力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡、刻蝕和納米操作等。該產(chǎn)品作為高速、高精度微觀形貌表征及綜合物性分析工具，可以為高端科研與企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)提供更多的選擇與助力。

產(chǎn)品介紹

利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征，縱向噪音水平低至0.03 nm(開環(huán)），可實(shí)現(xiàn)樣品表面單個(gè)原子層結(jié)構(gòu)形貌圖像繪制。可以測量表面的彈性、塑性、硬度、黏著力、磁性、電極化等性質(zhì)，還可以在真空，大氣或溶液下工作，在材料研究中獲得了廣泛的使用。

設(shè)備亮點(diǎn)

● 多種工作模式

●適配環(huán)境：空氣、液相

● 多功能配置

●穩(wěn)定性強(qiáng)

●可拓展性良好

典型案例

晶圓級(jí)原子力顯微鏡

產(chǎn)品介紹

利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征。樣品臺(tái)兼容12寸晶圓，電動(dòng)樣品定位臺(tái)與光學(xué)圖像相結(jié)合，可在300X300mm區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1μm的定位精度，激光對(duì)準(zhǔn)，探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整完全自動(dòng)化操作。可用于產(chǎn)線，對(duì)晶圓粗糙度進(jìn)行精密測試。

設(shè)備亮點(diǎn)

● 多種工作模式

●適配環(huán)境：空氣、液相

●可旋轉(zhuǎn)式掃描頭

● 多功能配置

●穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好

典型案例

審核編輯：劉清