近日，北京北方華創(chuàng)新型微電子旗下的子公司——北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，成功獲得一項(xiàng)名為“半導(dǎo)體腔室及設(shè)備”的重要發(fā)明專(zhuān)利。該項(xiàng)專(zhuān)利公布于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局，授權(quán)公告號(hào)CN220665444U，公告日期為2024年3月26日。其初始申請(qǐng)日期為2023年7月27日。

此實(shí)用新型主要涉及一種半導(dǎo)體腔室以及相關(guān)設(shè)備。這個(gè)集成的腔室內(nèi)包含了幾個(gè)關(guān)鍵組件，如腔室本體、基座組件（負(fù)責(zé)放置圓晶）、磁流體組件（由驅(qū)動(dòng)件和固定件組成，其中，固定件位于腔室本體外部，而驅(qū)動(dòng)件則可旋轉(zhuǎn)并密封于固定件之上），可以實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)件從腔室本體外部穿入到內(nèi)部，并固定于基座組件上。

這個(gè)設(shè)計(jì)還特別配備了一個(gè)調(diào)平機(jī)構(gòu)，它固定于腔室本體的外墻上，同時(shí)也將固定件與之相連。通過(guò)這樣的方式，不僅能調(diào)整磁流體組件的設(shè)立角度，進(jìn)而改變支撐面的角度，還可以大大簡(jiǎn)化反應(yīng)器的調(diào)節(jié)過(guò)程，節(jié)省時(shí)間精力，減少維護(hù)成本，有效提升生產(chǎn)效率。