一年一度的全球半導體行業盛會SEMICON China于3月20日在上海新國際博覽中心拉開帷幕。作為國內首家EDA上市公司，概倫電子亮相此次盛會，現場發布了其最新的半導體參數測試與全自動解決方案，包括低漏電矩陣開關FS821、傳感微結構參數測試儀FS-MEMS及自動量測解決方案ATS。

國內半導體量測行業亟需創新

隨著新興技術和市場不斷興起，芯片的復雜性和集成度不斷提升，行業的技術節點也在不斷提高。更先進的制程工藝、更高的良率、更大的產能成為半導體行業迫切需要面對和解決的問題。

楊廉峰博士概倫電子董事、總裁

半導體行業的發展需要通過集成創新的量測解決方案，來打破傳統儀器固有的不足和局限。概倫電子一貫致力于為半導體行業提供創新的解決方案，我們期待利用自身在半導體電特性測試和技術開發等領域的實踐經驗，結合已具備國際市場競爭力的關鍵EDA工具，進行DTCO的應用和創新探索，與生態伙伴一起，共同推動中國半導體量測的創新和發展，為半導體工藝平臺開發、芯片設計和EDA應用提供高效、高質量、高附加值的數據支撐。

概倫電子的電特性測試系統與EDA產品軟硬件協同，覆蓋半導體器件電學特性測試、低頻噪聲特性測試、晶圓級電學參數測試和可靠性測試等領域。此次SEMICON China展會上，概倫從多個維度展示了其最新的半導體參數測試與全自動解決方案。

低漏電矩陣開關 FS821

FS821低漏電矩陣開關是概倫電子最新推出的一款自動測試支撐設備，主要用于在半導體器件測試中分配測試資源，自動切換測試信號通路。

FS821低漏電矩陣開關性能卓越，支持最大200V/1A直流范圍，偏移電流可降至100fA，指標達國際領先水平，可無縫替代同類商業產品。其先進的設計可與常見的半導體參數分析儀無縫搭配，滿足各類器件研究、高精度測試和自動化測試需求，是半導體量測的基礎設備之一。

傳感微結構參數測試儀 FS-MEMS

FS-MEMS是一款集成傳感器結構參數測試功能的系統，為MEMS傳感器電學參數提供晶圓級解決方案，可滿足不同客戶的定制化需求。

該系統內置數字IO模塊，搭配智能探卡，無需更換線纜，通過一鍵操作即可完成動態和靜態參數測試，全面覆蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、漏電、電阻、諧振頻率、Q值、正交系數、-3dB帶寬等關鍵電學參數，實現自動測試。FS-MEMS可廣泛應用于MEMS器件的研發、生產和量產測試，通過自有專利的時域衰減法技術，可在保持測試精度的同時提升測試效率，配合多通道測試技術提高測試產率，已獲得多家專業用戶的認可。

自動量測解決方案 ATS

ATS自動量測解決方案是概倫電子基于FS-Pro半導體參數分析儀、981X系列噪聲分析儀和低漏電矩陣開關等自研硬件設備開發的全自動測試解決方案。該方案以全面的概倫自主研發的軟硬件作為系統集成基礎，涵蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、脈沖式IV、高速時域信號采集、低頻噪聲測試以及多種可靠性測試，是業內領先的完整低頻特性測試解決方案，可滿足各類半導體實驗室在晶圓級電學參數測試、器件模型數據測試和晶圓級可靠性測試等多方面的自動化量測需求。

該方案整合了FS-Pro的基本電性參數測試、9812的黃金標準低頻噪聲測試，以及符合產業標準的可靠性測試，打通了和公司先進建模提參工具之間的配合，形成了面向器件電學模型和可靠性模型的、從數據到建模的全套流程，具有行業標桿意義。憑借概倫設備的優異性能和獨特功能，該方案可滿足各類半導體實驗室復雜多變的需求，提升開發測試效率，加速半導體器件與工藝研發的迭代，是DTCO應用中的重要組成部分。

在廣闊市場需求和技術演進的推動下，概倫電子未來將持續圍繞工藝與設計協同優化進行技術和產品的戰略布局，致力于以目前擁有的核心EDA技術為基礎，提供專業高效的EDA流程和工具支撐，以及半導體器件特性測試和一站式技術開發解決方案等多方位服務，提高集成電路行業的整體技術水平和市場價值。

審核編輯：劉清