傳感器作為現(xiàn)代信息技術(shù)的基石之一，對(duì)于推動(dòng)國(guó)家經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重大意義。面對(duì)萬(wàn)物互聯(lián)新時(shí)代的到來(lái)，傳感器的重要性日益凸顯，尤其是智能傳感器的關(guān)鍵制造技術(shù)——微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。在國(guó)家“十四五”規(guī)劃中，明確微機(jī)電系統(tǒng)MEMS列為國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)與發(fā)展技術(shù)項(xiàng)目。

首家商業(yè)化大規(guī)模MEMS傳感器是加速度計(jì)，由美國(guó)ADI公司于1991年發(fā)明。約在2000年全球正式進(jìn)入商業(yè)化階段，但中國(guó)由于起步較晚，直到2010年后才漸露頭角。現(xiàn)在中國(guó)領(lǐng)先的MEMS公司皆成立于此段時(shí)間之后，如敏芯股份（2007年）深迪半導(dǎo)體（2008年）明皜傳感（2011年）矽睿科技、芯動(dòng)聯(lián)科（2012年）及納芯微（2013年）等。

這些國(guó)內(nèi)優(yōu)秀MEMS企業(yè)得到了資本市場(chǎng)的認(rèn)可，其中敏芯股份、納芯微、芯動(dòng)聯(lián)科成功上市，明皜傳感正積極籌備IPO。這些企業(yè)的成長(zhǎng)，見(jiàn)證了國(guó)產(chǎn)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的崛起。下面詳細(xì)介紹一下MEMS技術(shù)在明皜傳感中的應(yīng)用情況，旨在為讀者揭示其背后的創(chuàng)新力量與發(fā)展?jié)摿Α?/p>

明皜傳感致力于實(shí)現(xiàn)MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋，在此過(guò)程中，一批歸國(guó)的華僑華人起到了至關(guān)重要的作用。其中包括明皜傳感創(chuàng)始人之一汪達(dá)煒先生。他生于1960年，自幼接受良好教育，曾就讀于加州大學(xué)伯克利分校、斯坦福大學(xué)等頂尖學(xué)府，取得微電機(jī)、工程管理等領(lǐng)域的學(xué)位。

學(xué)成歸來(lái)后，汪達(dá)煒在AMD、朗訊科技等知名企業(yè)任職長(zhǎng)達(dá)20年。在此期間，他積累了豐富的半導(dǎo)體研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，并且深入理解了國(guó)際級(jí)半導(dǎo)體巨頭的管理模式。隨后，汪達(dá)煒開(kāi)始投身新技術(shù)研發(fā)，引領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了CMOS圖像傳感器，最終被索尼收購(gòu)。此外，他還帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行DLP芯片研發(fā)，這種芯片以MEMS微鏡為核心，廣泛應(yīng)用于投影儀中。

通過(guò)這兩次創(chuàng)業(yè)，汪達(dá)煒掌握了大量的CMOS和MEMS技術(shù)與工藝經(jīng)驗(yàn)，并于2007年創(chuàng)立了明銳光電，致力于MEMS技術(shù)研發(fā)，為日后建立明皜傳感奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。