PECVD作為太陽能電池生產(chǎn)中的一種工藝，對其性能的提升起著關(guān)鍵的作用。PECVD可以將氮化硅薄膜沉積在太陽能電池片的表面，從而有效提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換率。但為了清晰客觀的檢測沉積后太陽能電池片的氮化硅薄膜，了解其薄膜的厚度、表面粗糙度等各種參數(shù)信息，就必須運(yùn)用臺階儀進(jìn)行測量。「美能光伏」生產(chǎn)的美能探針式臺階儀，可測量太陽能電池片中氮化硅薄膜表面的粗糙度、翹曲應(yīng)力等各種參數(shù)信息，為光伏企業(yè)用戶評估關(guān)于太陽能電池性能方面的問題。本期「美能光伏」將給您介紹PECVD工藝！

帶您深入了解PECVD工藝的基本原理

PECVD又叫化學(xué)氣相沉積，是一種利用等離子體在低溫下進(jìn)行沉積的薄膜生長技術(shù)，PECVD技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上產(chǎn)生輝光放電，再利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)在高溫下分解生成所需的化合物，然后將化合物沉積在太陽能電池片的表面或其他襯底材料表面從而形成薄膜。

PECVD工藝的基本原理

PECVD的工藝優(yōu)勢

相較于傳統(tǒng)的CVD，PECVD的主要優(yōu)勢之一是可以在較低溫度下操作，從而減少對襯底材料的熱應(yīng)力，廣泛適用于太陽能電池的制造。PECVD的等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需要的激活能。電子與氣相分子的碰撞能夠促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電力過程，生成活性很高的各種化學(xué)集團(tuán)，從而顯著降低PECVD薄膜沉積的溫度范圍，使原來需要在高溫下才能進(jìn)行的薄膜沉積在低溫下也可以實(shí)現(xiàn)。

PECVD方法沉積薄膜能夠避免薄膜與襯底間發(fā)生不必要的擴(kuò)散與化學(xué)反應(yīng)、避免薄膜或襯底材料的結(jié)構(gòu)變化與性能惡化、避免薄膜與襯底中出現(xiàn)較大的熱應(yīng)力等，從而有效保證太陽能電池的性能穩(wěn)定。

美能探針式臺階儀

美能探針式臺階儀是一款先進(jìn)的微納測量儀器，采用出色的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和最優(yōu)化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件，可測量表面粗糙度、波紋度、表面2D/3D形狀、翹曲和應(yīng)力。從而實(shí)現(xiàn)可靠、高效、簡易的樣品檢測，并完成從研發(fā)到質(zhì)量控制的完美把控。

● 配備500W像素高分辨率彩色攝像機(jī)

● 臺階高度重復(fù)性1nm

● 超高直線度導(dǎo)軌、反應(yīng)樣品微小形貌

● 亞埃級分辨率、13μm量程下可達(dá)0.01埃

●高低噪比與低線性誤差

PECVD工藝作為能夠通過薄膜沉積而直接提高太陽能電池性能的關(guān)鍵步驟，一直都是各大光伏電池廠商所著重關(guān)注的工藝流程。「美能光伏」生產(chǎn)的美能探針式臺階儀，憑借獨(dú)特的檢測技術(shù)，給予沉積在太陽能電池片表面氮化硅薄膜的針對性檢測，幫助光伏電池廠商評估薄膜沉積后太陽能電池的性能，從而實(shí)現(xiàn)有力的科學(xué)證明！