7月19日下午，廣東省工業和信息化廳召開2023年上半年新聞發布會，會上通報了上半年全省工業經濟運行情況，其中重點提及：

“集成電路產量逆勢增長，隨著多個集成電路重大制造項目的建成達產，全省集成電路產量同比增長80%，增速高于全國（0.1%）79.9個百分點，占全國產量28.1%。”

作為中國經濟總量最大的省份，近年來廣東省竭力發展半導體產業，推出一系列政策，并不惜壕擲千億補課，近期再發重磅文件，重申“全面建設中國集成電路第三極”。

傳感器作為半導體產業重要的器件，在廣東省半導體產業政策中獲得優先扶持，在全省集成電路產量增長80%的背后，更有包括中國首條12英寸MEMS晶圓產線在內的4條12英寸線正在動工建設，近期這些產線相繼發布最新信息。

中國經濟第一省半導體產業正在狂飆！

狂增80%背后，傳感器等多條12英寸產線建設被寫入工作報告！

近日，廣東省工業和信息化廳官網發布《省工業和信息化廳召開2023年二季度新聞發布會》新聞稿，其中指出廣東省2023上半年集成電路產量同比增長80%，增速高于全國（0.1%）79.9個百分點，占全國產量28.1%。

該數據顯示了，在廣東省強勁的政策支持和投資下，當前廣東省半導體及集成電路產業正爆發出前所未有的增長態勢。在廣東省半導體及集成電路產業逆勢狂增的背后，是粵芯等多條12英寸產線投入建設、量產，彌補廣東省半導體產業的短板。

今年1月份，廣東省第十四屆人民代表大會第一次會議上，政府工作報告中，傳感器等半導體重大項目更是被寫入報告里：

政府工作報告回顧了2022年的工作，其中：粵芯三期、華潤微電子、增芯科技傳感器等集成電路重大制造項目獲批建設，“廣東強芯”工程深入推進，打造中國集成電路第三極邁出堅實步伐。新增國家級制造業單項冠軍企業47家、國家專精特新“小巨人”企業447家，推動1萬家企業“小升規”、超過9000家工業企業開展技改，工業投資增長12%。 政府工作報告還明確了2023年工作安排，其中：……提升產業鏈供應鏈韌性和安全水平。以“鏈長+鏈主制”為抓手，制定保障產業鏈供應鏈安全穩定“1+N”政策措施。積極承接國家產業基礎再造工程，推動基礎零部件和元器件、基礎材料、工業基礎軟件、基礎制造工藝及裝備、產業技術基礎能力提升。加快補齊集成電路、工業母機等產業鏈關鍵環節，實施龍頭企業保鏈穩鏈工程、汽車零部件產業強鏈工程，加快粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子、江門中創新航等項目建設。

▲來源：廣東省工業和信息化廳官網

粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子等多條12英寸量產線加快建設！廣東省芯片產能全面提速！

長期以來，廣東省半導體產業發展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市，不論是產業規模還是產業鏈完整程度上，粵港澳大灣區都遠落后于長三角地區，并且大灣區半導體及集成電路產業布局極其不平衡，有大量的芯片設計企業，但芯片制造和設備、材料方面等存在明顯短板。

以半導體的傳感器產業為例，此前粵港澳大灣區傳感器芯片產線缺乏，只有奧松電子等幾條MEMS傳感器芯片產線，許多企業流片、生產需要到長三角甚至國外尋找代工公司合作。

隨著廣東省發力半導體產業，粵芯半導體打響了大灣區追趕的第一槍，成為廣東省及粵港澳大灣區目前唯一進入量產的12英寸芯片生產線。

此外，多條12英寸晶圓產線正在廣東省加快建設，譬如2023年政府工作報告中提及的粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子等重大項目，均屬于12英寸產線，廣東省半導體產業失衡的局面有望在未來幾年被打破。

12英寸晶圓是目前全球主流晶圓的最大尺寸，較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產出來看，8英寸晶圓產出芯片88塊，而12英寸晶圓產出芯片則達到232塊。

粵芯半導體三期動工建設，應用于圖像傳感器、微控制器芯片等多種產品

粵芯半導體成立于2017年，先后于2019年及2021年相繼實現一期、二期項目正式量產，從消費級芯片起步，進而延伸發展至工業級和車規級芯片，是目前粵港澳大灣區首個并且是唯一進入量產的12 英寸芯片晶圓制造廠。

據悉，粵芯半導體項目計劃分為四期進行，計劃總投資約370億元，目前第一期、第二期已經投產，月產能達到4萬片，第三期、第四期項目計劃月產能各4萬片，預計在2025年，公司月產能有望達到12萬片。此外，一期主要技術節點為180-90nm制程，二期技術節點延伸至90-55nm制程，三期技術節點進一步延伸至55-40nm，22nm制程。

2022年6月，粵芯半導體完成了45億元融資，8月，粵芯半導體三期項目正式啟動建設，總投資162.5億元，將新建產能4萬片/月的12英寸集成電路模擬特色工藝生產線，力爭在2024年建成投產。

按照規劃，三期項目規劃打造工業級和車規級模擬特色工藝平臺，主要應用于電力電子、服務器/5G基站及汽車電子的功率器件芯片、信號鏈芯片、電源管理芯片、微控制器芯片及圖像傳感器等多種產品。

▲來源：《廣州市2023年重點建設項目計劃》

增芯科技提速，中國首條在建的12英寸MEMS晶圓產線！鎖定全球最大MEMS產線寶座？

增芯科技傳感器項目被寫入2023年廣東省政府工作報告中，這是中國首條在建的12英寸MEMS晶圓量產線。

2022年12月，增芯科技一期第一階段項目動工建設，批復投資70億元人民幣，將建設月加工2萬片12英寸的晶圓制造量產線。項目于2022年12月開工，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產。

此前，據《廣州市2022年重點建設項目計劃》顯示，廣州增芯項目總投資將達到370億元！打造集研發、量產制造、封測與應用為一體的MEMS制造平臺。一期第一階段達產后產能2萬片/月；一期第二階段達產后產能擴至6萬片/月。

▲來源：《廣州市2022年重點建設項目計劃》

據廣州增芯科技有限公司官方平臺介紹，其致力于建設國內第一家專業定制化 12英寸智能傳感器芯片制造企業，產品主要以力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套 ASIC 芯片為主，著力面向粵港澳大灣區這一全球傳感器最大的應用市場，快速構建傳感器產業生態圈，助力大灣區成為全球傳感器產業中心的核心支撐和引領平臺。

目前增芯科技已與10家MEMS設計骨干企業簽訂合作協議，共同定制工藝設備、開發特色工藝技術，包括但不限于加速度傳感器、慣性傳感器、磁傳感器、基因測試芯片、微流控芯片、硅基麥克風芯片等。

此外，增芯科技12英寸MEMS晶圓產線一期月產2萬片年產24萬片，后期年產36萬片的產能規劃，如果投產順利，將極大可能鎖定中國乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠的位置。

當前全球最大的MEMS晶圓代工廠——賽微電子旗下瑞典Silex產線（FAB1&FAB2），年產能約84000片，賽微電子北京產線（FAB3）目前規劃產能30000片/年，中芯集成（紹興）的MEMS晶圓代工年銷量約85000片左右。

▲賽微電子MEMS產能數據（來自賽微電子2021年報）

據2023年07月21日，廣州市規劃和自然資源局的《12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產線新建項目》公示資料顯示，該產線具體位置處于廣州城之東，從地圖上粗略查看，距離廣州市區37公里，距離東莞市區21公里，距離深圳市區83公里，而距離深圳市打造的智能傳感器高地——光明區僅57公里，只相當于從深圳寶安區到坪山區的距離。

增芯科技傳感器項目對粵港澳大灣區及中國傳感器產業有重要意義。

▲增芯科技傳感器項目位置，來源：廣州市規劃和自然資源局

華潤微電子12英寸晶圓廠投入建設，聚焦40nm以上模擬特色工藝

華潤微電子深圳12英寸集成電路生產線建設項目于2022年10月開工，建設主體為潤鵬半導體（深圳）有限公司，選址深圳市寶安區。

據當時公開消息顯示，該項目一期總投資220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝。項目建成后將形成年產48萬片12英寸功率芯片的生產能力，產品主要應用于汽車電子、新能源、工業控制、消費電子等領域。該項目的建成將發揮華潤微全產業鏈商業模式優勢，貼近和帶動產業上下游的配合和銜接，形成集聚效應，助力粵港澳大灣區制造業的發展。

華潤微2月8日公告，公司召開了第二屆董事會第六次會議審議并通過了《關于變更部分募投項目并將部分募集資金投入新項目的議案》，同意公司將向特定對象發行A股股票募集資金投資項目“華潤微功率半導體封測基地項目”的募集資金人民幣23億元變更使用用途，變更后的募集資金將用于“華潤微電子深圳300mm集成電路生產線項目”。

華潤微電子深圳12英寸晶圓廠建設提速，該項目預計2024年年底實現通線投產。

中芯國際12英寸晶圓廠，聚焦28納米以上工藝，應用于圖像傳感器、顯示驅動等產品

據廣東省發展改革委公布的《廣東省2022年重點建設項目計劃表》，中芯國際將在深圳建設一條月產能為4萬片/月的12英寸集成電路生產線，總投資153億元，聚焦28納米及以上工藝節點的生產，產線建設起止年限為2021-2025。其中，2022年計劃投資30億人民幣，投資建設內容包括土建和設備安裝。

另外根據深圳市坪山區投資推廣服務署去年發布的公告，中芯國際12英寸晶圓代工生產線主要規劃進行55nm高壓大屏驅動，0.15μm電源驅動以及40/28nm高壓大屏驅動芯片的量產生產，以顯示驅動、圖像傳感以及電源管理產品為切入口，預留其他類型產品兼容性。

據中芯國際在2022年第四季度業績財報中披露，至2022年底，中芯深圳已進入投產階段。在前不久的政府工作報告中提到，2023年將推動中芯國際12英寸生產線達產滿產。

多項重磅政策落地，豪擲千億補課！廣東力爭中國半導體第三極！傳感器產業獲得優先扶持！

在剛剛過去的6月份，廣東省又出臺重磅文件，6月1日發布《關于高質量建設制造強省的意見》，文件中提到，推動半導體及集成電路等產業發展，培育形成10個以上產值超萬億元的戰略性產業集群，超過10家制造業企業進入世界500強。并且，再次重申“全面建設中國集成電路第三極”，推進“廣東強芯”工程建設：

突破重點產業鏈的一批關鍵核心技術、前沿技術和顛覆性技術。持續推進“廣東強芯”工程，抓緊組建省半導體及集成電路產業投資基金二期，全面建設中國集成電路第三極。建立健全能源和原材料保供穩價長效機制，提升戰略性能源資源供應保障能力。

長期以來，廣東省半導體產業發展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市。

據悉是由于錯位發展的需要，廣東大力發展光電顯示產業，而上海在上世紀80年代就布局芯片產業，2000年中芯國際在上海成立，還有華虹半導體這種大晶圓制造廠，重點引入臺積電的人才，經過20多年的發展，上海形成了國內整條完整的芯片產業供應鏈，上海的半導體發展有著歷史底蘊。

為了補半導體的課，2022年廣東省豪擲千億，以廣州、深圳兩大一線城市為雙核，推出一系列政策。

2022年4月，廣東省工信廳印發《2022年廣東省數字經濟工作要點》，要全面實施“廣東強芯”工程，加快灣區半導體、廣大融智、智能傳感器三大產業集團建設。

一、成立廣東省半導體及集成電路產業投資基金（總規模500億，首期200億）：設立子基金、生態子基金和風險子基金；二、粵芯CanSemi12英寸模擬特色工藝線三期四期投資400億元；三、粵港澳大灣區科技創新產業投資基金，總規模1000億，首期200億元；四、灣區半導體產業集團，首期160億元，目標300億元；五、廣大融智產業集團，一期100億元；六、智能傳感器產業集團，100億。

同年，深圳出臺《關于發展壯大戰略性新興產業集群和培育發展未來產業的意見》，培育發展壯大“20+8”產業集群，即發展以先進制造業為主體的20個戰略性新興產業集群，前瞻布局8大未來產業。包括智能傳感器、智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫療器械等產業集群。

為壯大相關產業，深圳以“一個產業集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相關基金，基金群總規模達千億級。

其中，智能傳感器、合成生物、新能源汽車、生物醫藥產業共四個重點方向為首批先行產業，基金已在2022年12月落地，規模達165億元，而智能傳感器產業基金為50億。

2022年3月，深圳市工業和信息化局發布關于公開征求《深圳市關于推動智能傳感器產業加快發展的若干措施》（征求意見稿）意見的通告，相關政策于同年12月出臺。

深圳將從健全產業公共服務能力、構建核心技術競爭力和強化市場牽引發展能力三方面，加快發展智能傳感器產業集群，促進產業邁向全球價值鏈高端。政策顯示，對企業能夠解決智能傳感器產業“卡脖子”問題的，資金資助最高達到了1億元！（相關政策內容參看《最高資助1億！深圳要解決智能傳感器產業“卡脖子”問題（附政策全文）》）

深圳對智能傳感器產業空間布局，重點提及了南山、龍華和光明這三區。具體來看，深圳對于南山區的定位重點放在了“產學研”；龍華的定位是“3C應用示范”；而光明任務最重，肩負8英寸MEMS中試線，項目總投資額15.33億元，建成后產能可達3000片。該中試線建成后將面向市內外有關企業提供研發中試和批量代工服務。

2023年1月，深圳市光明區智能傳感與精密儀器先進制造業園區開工建設，項目位于光明區西南直角產業帶，綜合開發范圍1.95平方公里，規劃容積382.51萬平方米，分四期開發，項目總投資達81.9億元。

這是繼粵港澳大灣區智能傳感器產業園后，廣東省第二個成規模的傳感器產業園區，也使光明區成為深圳市的智能傳感器產業高地。

結語

因國家發展統籌等原因，長期以來，廣東半導體產業遠遠落后于長三角的上海、江蘇等兄弟省市。

近年來，隨著廣東半導體產業受到重視，吹響了打造中國半導體第三極的號角，2023年上半年廣東省集成電路同比增長80%，當前廣東半導體在建擬建項目總投資超5000億元，已邁出了堅實的步伐。

智能傳感器作為半導體產業的重要組成部分，自2020年以來，廣東密集推出扶持智能傳感器產業發展的各項政策措施，其力度之大、政策范圍之廣，遠超其他兄弟省份城市。

未來，以智能傳感器、模擬芯片等為突破口帶動半導體產業發展，廣東省有望真正成為中國半導體第三極！

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審核編輯 黃宇