大家好，我是【廣州工控傳感★科技】M5151-000000W-200BG事業部，張工。

經常發現M5151-000000W-200BG壓力傳感器在使用一段時間后會發生漂移。是什么原因導致壓力傳感器漂移？如何在設計過程之中消除壓力傳感器漂移？

M5151-000000W-200BG傳感器使用的芯片和基地間的金硅共晶鍵合，為了消除壓力傳感器偏移，可以使用金硅共晶焊接。因為金比較軟，應力小，所以壓力感應管是一根燒結在硅環之上的玻璃管，玻璃管和底座用高溫膠粘合。為了測量表壓，在玻璃管外粘上一根金屬管，使其與大氣接觸。芯片電阻條形成惠斯通電橋，采用高摻雜方法形成導電書，電橋與分布在其四周的鋁電極可靠連接，而不是采用通常的蒸鋁和反向蝕刻的方法形成鋁條。這樣做有助于減少傳感器的滯后。鋁電極與端子間采用金絲壓焊和超聲波焊接，使接頭處的電阻更穩定。

M5151-000000W-200BG

M5151-000000W-200BG傳感器芯片和金屬底座采用玻璃粉密封。缺點是壓力芯片四周有很大的應力。即使退火之后，應力也不能完全消除。當溫度變化時，由于金屬、玻璃和擴散硅芯片的熱膨脹系數不同，會產生熱應力，導致傳感器零點漂移。這就是為什么傳感器的熱零點漂移比芯片大得多的原因。使用銀膏和接線柱進行焊接，處理不當容易造成接觸電阻不穩定。尤其是溫度變化時，接觸電阻更容易發生變化。些因素都是造成傳感器大的時間漂移和溫度漂移的原因。

M5151-000000W-200BG

M5151-0000W-200BG壓力傳感器可作為壓力測量元件使用，也可作為自動控制的敏感元件使用。別是對于前者的應用，對它提出了比較高的精度要求。由于半導體芯片制成的壓力傳感器的精度受溫度的影響，因此應注意傳感器的工作溫度范圍。
靜態精度是指在一定溫度（室溫25°C）之下應達到的精度。它可分為四個等級：0101-011%FS為超高精度；011-1%FS為高精度；1-2%FS為正常精度。2-10%的FS是低精度的。

全溫度范圍精度是指壓力傳感器在整個使用溫度范圍之內應達到的精度。它也可以分為四個:0101-011%支持率011年-1%的FS1%至2%的游離脂肪酸2%至10%脂肪酸靜態精度達到011-1%FS，可能整個溫度范圍的精度只夠1-2%FS，甚至只夠2-10%FS。

M5151-000000W-200BG

對于使用，往往希望M5151-0000W-200BG傳感器的精度盡可能高。當壓力傳感器達到高精度時，在生產過程之中必須增加許多額外的工藝、校準過程和補償技術，相應的成本也增加了，當然它的售價也大幅度提高了。因此，應根據M5151-000000W-200BG傳感器的實際應用場合和要求，提出合理的精度要求和相應的溫度范圍。