線性標定和溫度補償標定是壓力傳感器生產過程中的關鍵步驟之一,其中線性標定的作用是使壓力傳感器在基準溫度下達到標稱的精度指標(包含非線性、重復性和遲滯),而通過溫補標定則修正了壓力傳感器在目標工作溫度范圍內零點和滿程的漂移。

傳統的壓力傳感器標定系統存在兩個痛點,使得傳感器制造商無法實現產線的精益生產目標:
單套系統所能覆蓋的壓力量程范圍有限,比如,為了覆蓋基于玻璃微熔壓力芯體的量程范圍700 kPa至70 MPa,可能需要三套不同量程的標定系統來分別覆蓋700 kPa~2 MPa、2 MPa~10 MPa以及10 MPa~70 MPa這三個壓力量程段,介質則為低壓氣體和高壓液體。
受限于緩慢的烘箱升、降溫速率和保溫時間要求,單次溫補標定的耗時極長。為了降本增效,不得不進行大批量相同量程的標定,面對多量程、小批量的訂單則會效率低下。
柔性化壓力傳感器生產標定系統通過單套系統覆蓋寬廣的量程范圍(<100 kPa至100 MPa)以及新型的單次升降溫多量程混合標定的方法,實現壓力傳感器高效率精益生產的目標。
柔性化壓力傳感器生產標定系統的核心:
福祿克6270A/8270A/8370A模塊化壓力控制器,擁有寬范圍、多量程、高精度及氣壓快速控制的特點:
寬量程控壓,單臺控制器可覆蓋極寬的控壓范圍
6270A
-0.1 ~ 20 MPa,控壓穩定性0.001 %FS
8270A
-0.1 ~ 40 MPa,控壓穩定性0.002 %FS
8370A
0 ~ 100 MPa,控壓穩定性0.002 %FS
多模塊,量程、精度、壓力類型任意組合,內置多達5個模塊且無量程比限制
量程選擇:+/- 3.5 kPa ~ 100 MPa
壓力類型選擇:微差壓、表壓、復合壓、絕壓
精度選擇:0.01 %FS、0.007 / 0.008 %Rdg
完全模塊化設計,易于產線維護及后續量程擴展
一臺或兩臺模塊化控制器組合即能滿足全量程壓力傳感器的標定,助力傳感器生產企業搭建低成本、高效率的柔性化傳感器標定/溫補系統。
這里,我們以標定精度為0.25 %FS的100 kPa、2.5 MPa和70 MPa三個量程的壓力傳感器為例,只需一套6270A+8370A組合,即能標定上述三個量程的壓力傳感器,并且標定系統的精度優于對應量程的0.05 %。同時,通過6270A或8370A主機集成的電磁閥驅動器控制四路電磁閥開或閉,實現三個量程的傳感器在烘箱的一次升降溫過程中實現多量程混合標定。
1標定100 kPa量程,四路電磁閥均打開,通過6270A自動選擇0.1 MPa量程模塊進行控壓、穩壓。

2標定2.5 MPa量程,工裝上路電磁閥關閉,6270A使用4 MPa量程模塊進行控壓、穩壓。

3標定70 MPa量程,僅工裝下路電磁閥打開,6270A輸出端電磁閥關閉,8370A自動切換為100 MPa量程模塊進行控壓、穩壓。

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原文標題:柔性化壓力傳感器生產標定系統
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