在去年 12 月的國際電子器件大會 (IEDM) 上，有一節關于背面電源分配網絡（Backside Power Delivery Networks）的簡短課程。主講人是IMEC（微電子研究中心）的 Gaspard Hiblot，標題為《Process Architectures Changes to Improve Power Delivery（通過改變流程架構來改善電源分配）》；IMEC的高層人員Geert Hellings 和 Julien Ryckaert 也參與了內容創作。該演講的幻燈片多達 80 頁，因此本文不做贅述，只介紹其中的一些重點。

設計技術協同優化（DTCO）

現代工藝設計與設計將要使用的硅結構的某些方面密切相關。這與十年前的情況截然不同，當時制程技術開發團隊基本上會交給設計團隊一套 SPICE 模型和 layout 設計規則。而我們采用的新方法稱為“設計技術協同優化”，簡稱為 DTCO（Design Technology Co-Optimization）。

這個詞首次出現在 2016 年的 CDNLive （即Cadence用戶大會的舊稱，現稱為CadenceLIVE）Europe 會議上，當時 Luca Matti 展示了他在 IMEC 的工作——即將到來的 7nm 和 5nm 制程節點。在 DTCO 的早期發展階段，重點在于對半導體制程進行一些調整，如有源柵極觸點，旨在減少標準單元的軌道數量。

如今，簡單的維度縮放（即“摩爾定律”）已成為明日黃花，需要采用 DTCO 方法來保持縮放規律。其中一個巨大的挑戰是過孔的電阻。一直以來，我們使用銅材料來制造過孔，因為銅的電阻很低。但銅需要一個擴散阻擋層，如氮化鉭 (TaN)，這會造成兩個問題——首先，阻擋層會占據空間，因此減少了過孔中銅的橫截面積；其次，阻擋層位于過孔底部，電流必須流過阻擋層。而阻擋層金屬的電阻高于銅，因此會增加過孔電阻。

銅線也有類似的問題，由于銅中的晶粒大小和銅線占據側壁的空間百分比增加，在 100nm 線寬以下，銅的電阻率開始增加。經常有人提議用釕來解決這個問題，因為它不需要阻擋層，在尺寸極小時電阻率也很低。但據我所知，并沒有人用釕代替銅。在最低的過孔中，甚至是 M0 互連中，有些人會使用鈷。

這些與互連有關的問題會影響到信號、時鐘和功耗。不過，信號布線和電源分配網絡 (PDN) 所面臨的權衡取舍是不同的。電源需要低電阻，與電容關系不大（因為電壓不變）。與普通信號不同，電源分配網絡要傳輸大電流，這讓電遷移成為了一個難題。為此，通常會采用更復雜的制程工藝，來區分電源和信號布線。

背面配電

最終的區別在于將 PDN 與信號完全分開，在背面創建 PDN。PDN 位于減薄晶圓的背面，通過硅過孔 (TSV) 連接到晶體管和正面互連。

深入了解背面電源分配網絡 (Backside power delivery networks，即 BS-PDN)——

獨特優勢

將片上壓降減少了一個數量級

如下圖所示，約 300Ω 的過孔柱減少到僅為 5Ω 的 TSV，這也大大減少了片上壓降。

擴展了芯片面積

這在很大程度上取決于制程工藝的不同方面（如 TSV 周圍禁布區的尺寸），也取決于 EDA 工具。

如Cadence Innovus 一類工具中的布線器應該可以更輕松地進行信號布線，PDN 不會在互連堆棧中造成阻礙。但具體的獲益有多大，還需要進行實驗。

如果使用埋入式電源軌 (BPR)，可以減少標準單元中的軌道數量，因此可以將芯片面積擴展大約 15-20%。

降低 BEOL 中精細金屬的復雜性

銅經常采用雙鑲嵌工藝，很難在同一層上混合寬金屬線（用于電源）和窄金屬線（用于信號）。

更易于實現晶圓對晶圓鍵合工藝，以便在邏輯上堆疊存儲器

倒裝 SRAM 裸片由邏輯裸片配電，因此可以有效地由相同的 BS-PDN 配電。

三種基本方法

TSV-middle 電源位于有源旁邊，并在單元之間共享。BSM1（背面金屬 1）與有源對準。

埋入式電源軌 (BPR) 的電源埋在有源器件，VBPR 接入 BPR，BPR 充當 BSM1（因此，有一層“背面”配電網絡實際上移到了正面）。

背面接觸電源位于有源下方，過孔接入電源軌，BSM1 與柵極對準

這三種方法具有一些共同的挑戰——

01

背面配電需要將硅晶圓減薄至小于 10um。

在真正的晶圓被削磨之前，需要將另一個晶圓粘合到真正的晶圓上（用于提供機械支撐和便于操作），如下圖所示：

02

將正面和背面對準。

nano-TSV (nTSV) 需要在約 10nm 內對準。

上圖是 TSV-middle 的高級流程；下圖是BPR（埋入式電源軌）的高級流程。

BPR 有兩種候選材料：鎢 (W) 和釕 (Ru)。鎢的污染風險較低，可達到 50Ω/um 的目標電阻；但是釕不需要使用阻擋層，過孔電阻較低。

在此本文不會過多討論背面接觸方法，因為它似乎離實用還有很長的路要走。Gaspard 對 BS-PDN 的總結如下：

超級緊湊（優點）

有許多未解決的挑戰（缺點）

背面和正面對準

Rseries

補充 FEOL 縮放

改善壓降（優點）

展望未來

演講的最后一部分對未來的技術發展進行了展望。

聽到“背面配電”，不由得讓人聯想是否可以再進一步，增強背面的功能，然后將一些系統功能也移到背面。首先是全局互聯（不需要在背面擺放器件）。但也有可能出現背面器件。

另一點是在背面創建金屬-絕緣體-金屬電容器 MIMCAP。鑒于可能涉及較大的功率密度 (1w/mm2)，MIMCAP 有助于減少動態壓降。

顯而易見的是，背面配電技術將繼續完善，一如下方邏輯器件路線圖。