金剛石具有非常優異的性能，具體表現為具有最高的硬度、室溫下熱導率最高、熱膨脹系數小、全波段高光學透過率、聲傳播速度快、介電性能好、摻雜后具有半導體性質、以及具有極佳的化學穩定性等，在機械、電子工業、光學、聲學等領域有著廣闊的潛在應用前景。

在超高精密加工中，在線測量系統是實現高效輪廓補償和改善加工條件的有效裝置，光譜共焦技術便是其中之一。

本期小明來分享一下光譜共焦儀在金剛石切片分揀機上的應用。

檢測需求

金剛石切片隨治具進入大理石平臺，檢測工位為上下各一個測頭檢測金剛石切片厚度，使用XY雙軸微動裝置運行9個測試點。

要求檢測精度小于0.005mm，切片厚度差值大于標準值0.05mm則判為不良品；

要求檢測速度快，采樣頻率大于2KHz；

檢測方案兼容0.5-10mm各種厚度、表面顏色和材質，要求內置編碼器支持網口通訊，可實時監測

項目難點

1、多點測量且要求檢測效率高

2、運動中高精度測量

3、各種厚度、表面顏色和材質不一

4、需要內置編碼器

推薦選型

1、0.35um線性精度完全覆蓋精度要求

2、可接受±15°傾斜角，兼容更多被測物表面形狀

2、9um光斑尺寸，對點位測量更加精準，尤其透明半透明器件測量效果更優

3、4KHz高速采樣頻率，實現高效率檢測能力

4、控制器可搭載一拖二測頭，節省空間的同時也讓調試更便捷

5、搭配高柔光纖線纜，適配多軸微動測量平臺

6、內置編碼器和網口通訊，大大節省了調試時間

產品參數

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