中圖儀器SuperView W1白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperView W1白光干涉儀能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
白光干涉儀三維形貌測(cè)量
半導(dǎo)體-輪廓尺寸測(cè)量
超光滑透鏡測(cè)量
超精密模具
超精密加工
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白光干涉儀
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發(fā)布于 :2026年02月28日 10:32:36
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發(fā)布于 :2025年08月07日 09:12:38
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發(fā)表于 05-28 08:48
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FRED應(yīng)用:天文光干涉儀
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圖2.左:角度范圍為1弧秒的恒星在探測(cè)器上的白光干涉圖樣,
發(fā)表于 04-29 08:52
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干涉儀
優(yōu)可測(cè)
發(fā)布于 :2025年03月29日 08:49:30
白光干涉儀能測(cè)哪些三維形貌?
評(píng)論