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5.3.1.1 本征缺陷∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-06 09:27 ? 次閱讀
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5.3.1.1 本征缺陷

5.3.1 SiC中的主要深能級缺陷

5.3 SiC中的點缺陷

第5章碳化硅的缺陷及表征技術

《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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