據麥姆斯咨詢報道，近日，湖南大學段輝高教授團隊聯合英國諾森比亞大學傅永慶教授的綜述論文《Flexible and Wearable Acoustic Wave Technologies》在應用物理國際頂級綜述期刊Applied Physics Reviews （最新影響因子19.527）上發表（Appl. Phys. Rev. 10, 021311 (2023); doi: 10.1063/5.0142470），并被期刊選為Featured Articles (亮點論文)，湖南大學周劍副教授為該論文的第一作者。

聲表面波（SAW）傳感器是典型的MEMS傳感器，在航空航天、智能工業等應力應變、溫度、扭矩等物理參數傳感，化學戰劑痕量檢測和高精度生物傳感領域有著廣泛的應用。相較于傳統的硬質SAW器件，新型柔性SAW器件能貼附在曲面上進行彎曲曲面監測，在可穿戴傳感、智能蒙皮等領域具有廣泛應用前景。

本文在作者團隊多年從事SAW器件的基礎上，綜述了柔性和可穿戴聲波（特別是SAW）器件的基本原理、設計、制造和應用方面的進展。該論文重點討論了高性能柔性和可穿戴SAW器件在材料選擇（包括柔性襯底和壓電薄膜）和結構設計方面的挑戰，系統地總結了柔性SAW器件的制造策略、波模式理論、工作機理、彎曲應變行為和性能/評估方面的最新進展及其在柔性曲面監測用傳感器、柔性聲流控以及柔性芯片實驗室系統中的潛在應用。最后，該論文綜合分析了柔性SAW傳感領域所面臨的挑戰，展望了柔性SAW傳感器的未來發展前景與發展趨勢。

圖1 柔性SAW材料、器件和應用

圖2 用于柔性SAW器件的柔性襯底和壓電材料

圖3 基于柔性SAW器件的應變傳感器及其應用

湖南大學科研團隊與英國諾森比亞大學傅永慶教授團隊長期合作，近10年一直致力于柔性SAW傳感器研究，曾制備了多款高性能柔性層狀結構SAW器件，并先后開發了基于柔性SAW器件的柔性傳感、柔性微流體系統、柔性片上實驗室等應用。系列研究得到了國家自然科學基金、教育部聯合基金、湖南省科技攻關等項目的資助，并得到浙江大學、深圳大學等科研團隊的支持。

Applied Physics Reviews是美國物理學聯合會（AIP）旗艦雜志，2022年IF為19.527，主要刊登關于應用物理學實驗或理論研究中重要的和前沿主題的文章，以及物理學在科學和工程等其他分支的應用文章，是物理學領域著名學術期刊。

審核編輯 ：李倩