來源：《半導體芯科技》雜志

北京萊伯泰科儀器股份有限公司發布針對半導體行業研發生產的電感耦合等離子體三重四極桿質譜儀LabMS 5000 ICP-MS/MS。

LabMS 5000 ICP-MS/MS采用工業標準27MHz固態發生器，具有極高的系統穩定性；使用MS/MS模式實現受控且可靠的干擾去除，精準去除質量干擾離子，從而獲得更低的檢出限和準確的超痕量分析結果；低背景惰性進樣系統集成氣體稀釋和加氧功能，極大擴展檢測應用范圍；智能軟件平臺HiMass，適用于實驗室的各種分析需求，極大提高工作效率。

LabMS 5000 ICP-MS/MS可用于監控半導體硅材料、第三代半導體材料、濕電子化學品、電子特氣、制程溶劑/光刻膠等的無機元素污染，已通過半導體行業SEMI S2、SEMI E78認證，助力半導體芯片制造商控制產品質量，提升良率。

萊伯泰科是從事實驗分析儀器研發、生產和銷售，提供潔凈環保型實驗室解決方案以及實驗室耗材和相關服務的高新技術企業，打造的國產電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）系列品牌，廣泛應用于半導體、生命科學、新能源等領域。

萊伯泰科2021年已經對外發布了電感耦合等離子體質譜儀LabMS 3000 ICP-MS并在多個領域實現了產品銷售，首次實現了國產ICP-MS（電感耦合等離子體質譜儀）在半導體行業芯片生產線上的應用，打破了國外產品的長期壟斷。本次發布的新品是在LabMS 3000 ICP-MS產品的基礎上推出的全新一代三重四極桿質譜儀，主要用于無機元素檢測。目前國內半導體行業用于無機元素檢測的三重四極桿質譜儀以進口產品為主，該產品能夠實現國產替代。

萊伯泰科表示，新產品的發布進一步豐富了公司分析測試儀器產品線，拓寬了公司產品的應用領域，將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力。目前，該新產品已取得訂單并實現發貨。

審核編輯：湯梓紅