最近，一家Omnitron Sensors的小公司剛剛走出隱身模式。但正如該公司的首席執行官兼聯合創始人Eric Aguilar說，Omnitron 的員工已準備好撼動 MEMS 傳感器市場。

據了解，該公司的執行團隊在傳感器設計有數十年的經驗，他們曾在 Google (X) Wing 航空電子設備、Google Quantum、Tesla Model 3、美國海軍研究實驗室和 Lumedyne（被收購谷歌）等地方工作過。例如，Omnitron 的業務發展主管Curtis Ray，是一位早期的 MEMS 技術思想領袖，他首先開發并出售了一家 MEMS 代工廠。

正如我之前提到的，Omnitron 的使命是撼動 MEMS 市場，突破當今 MEMS 制造中的現有障礙，以促進創建將在未來世界無處不在的高性能、低成本傳感器。領導團隊在一些世界領先公司的廣泛經驗意味著他們不僅擁有實現這一愿景所需的技術技能，而且他們擁有遍布全球的龐大網絡，這對他們的成功至關重要他們成長。

他們從 LiDAR 開始，為汽車（尤其是自動駕駛汽車）、無人機、機器人等事物提供出色的傳感技術……這個例子不勝枚舉。問題是當前的 LiDAR 系統既昂貴又不可靠，如果您發現自己是 LiDAR 銷售人員，這不是您想要打開的組合。

Eric 告訴我，在他之前的一個職位中，他們被迫為 LiDAR 系統建立嚴格的維護和校準程序，因為在僅僅運行幾個月后，他們就必須更換傳感器。除了讓事情成本過高之外，我敢肯定你和我一樣不會喜歡每三個月左右把我們的車開到店里重新校準或更換激光雷達。

進一步研究這個問題，Eric 看到基于 MEMS 的 LiDAR 系統是如何開始受到關注的，因為它們更小、成本更低，但它們也有自己的問題。反過來，這讓 Eric 思考這樣一個事實，即如果從創新的角度來思考，那么在過去十年左右的時間里，半導體創新呈指數級增長，而 MEMS 創新基本上持平（上一次真正的“OMG ”MEM 領域的創新發生在 2012 年左右）。

正如Eric所：“我們首先與一級供應商、原始設備制造商和系統集成商交談，詢問他們‘你們的掃描儀需要什么？’ 和“它需要做什么？” 他們告訴我們的第一件事就是他們需要一面大鏡子。他們的光束需要射出 200 米或更遠，這意味著他們需要一面大于 10 毫米的鏡子來解決這個問題。沒有任何 MEMS 解決方案接近該尺寸。最大的大約有五毫米。接下來他們說 FMCW 是 LiDAR 的未來，這意味著他們不需要諧振鏡，而是需要能夠執行步進掃描，這意味著在發射激光源時停止并停留，在繼續前進之前信號回來了。”

Eric 繼續說道：“當你觀察 MEMS 反射鏡時，它本質上是一個彈簧上的質量塊，因此它會在路上經歷振動，你必須解決這個問題。另外，你必須對溫度不敏感。根據您居住的地方，您的汽車可能會經歷從車庫到外界的巨大溫度變化。這些溫度沖擊可能日復一日地發生，您的 LiDAR 掃描系統需要對此不敏感。”

Eric 和他的同事意識到，可用于構建 MEMS 反射鏡的設計規則缺乏開發人員構建真正適用于 LiDAR 的解決方案的能力，尤其是最新最好的調頻連續波 (FMCW) LiDAR，這需要大鏡子，移動速度快，可以進行步進掃描。因此，他們決定回到繪圖板，找出修改和增強現有 MEMS 工藝所需的內容。下圖簡要概括了所有內容。

他們做的第一件事是構建一個非常強大的執行器，這是通過提高單位面積的電容來實現的。換句話說，我們談論的是能量密度——與市場上可用的產品相比，它們可以在表面積上儲存多少能量。結果比任何其他可用的方法都要好 10 倍。此外，它們還包括平面內隔離，以將施加到執行元件的任何電壓與傳感元件完全去耦。更好的是，它們能夠對反射鏡進行預傾斜偏移，從而顯著簡化系統級對齊和組裝，從而顯著降低系統成本。

最后，他們基于可在任何晶圓廠找到的現有工具和能力，開發了一種簡化且穩健的制造工藝。該團隊開發了一個巧妙的序列來實現更高的性能，同時在整個晶圓上提供出色的均勻性，并且他們已經在研發代工廠中證明了所有這些。

當然，正如他們所說，“布丁的證明在于吃”，所以讓我們看一下下圖中所示的大鏡子比較。

從左到右，我們有一個基于音圈的反射鏡，它很大（此處顯示的直徑為 20 毫米）且堅固耐用，并具有出色的反饋機制。缺點是它的視野有限，而且要花費數千美元。

沿著這條線走下去，所有其他現有選項都表現出各種缺點，包括高成本、擺動傾向、無法步進或高功率。然后我們來到右邊的 Omnitron 鏡子。它的鏡子（直徑 15 毫米）很大，但整體尺寸不大，它速度快，支持步進掃描，而且比其傳統競爭對手便宜得多。

僅供參考，起初，我以為 Omnitron 鏡子前的硬幣是 25 美分硬幣，但我錯了，因為它實際上是一角硬幣。

下圖是Yole對MEMS市場的預測，所有這一切的有趣之處在于，這些數據并未考慮 Omnitron 正在申請專利的新工藝可能造成的潛在破壞。首先，成本更低、分辨率更高的 LiDAR 傳感器的可用性可以顯著擴大整個 LiDAR 市場。其次，Omnitron 的工藝不僅專注于（沒有雙關語）鏡子，而且適用于一般的 MEMS，這可能會顯著增加整個 MEMS 市場。

一如既往，我們確實生活在激動人心的時代。

審核編輯黃宇