據(jù)外媒報道,格芯(Globalfoundries Inc.)日前獲得3000萬美元的聯(lián)邦資金支持,用于在其位于佛蒙特州的晶圓廠開發(fā)和生產(chǎn)硅基氮化鎵(GaN-on-Si)晶圓,該工廠目前每月可生產(chǎn)超過5萬片晶圓。
報道顯示,該筆撥款是2022財年綜合撥款法案的一部分,來自于美國國防部可信訪問計劃辦公室 (TAPO) ,自2019年以來,TAPO一直積極支持軍民兩用硅基氮化鎵技術(shù)研發(fā),新的款項將資助格芯采購設(shè)備并開始在8英寸產(chǎn)線實現(xiàn)硅基氮化鎵量產(chǎn)。
與傳統(tǒng)GaN-on-SiC等技術(shù)路線相比,硅基氮化鎵選用的襯底成本與可及性有顯著優(yōu)勢,GaN外延生長缺陷也顯著降低。
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