電子發燒友網報道（文/梁浩斌）2019年7月，日本經濟產業省宣布，將對用于智能手機及電視機的半導體等制造過程中需要的3種材料加強面向韓國的出口管制。這3種材料包括用于半導體清洗的高純度氟化氫、用于柔性OLED顯示面板的氟聚酰亞胺、以及光刻膠。

但日本的出口管制，反而是促進了韓國本土半導體材料產業的發展。近日韓媒報道，截至2021年12月，韓國在包含半導體、顯示器、汽車、電器電子、機械金屬和基礎化學共六大領域的100個核心戰略項目上，對日本的依賴度持續降低，從2019年12月的30.9%，下降至2021年12月的24.9%。

如今距離日本宣布實施對韓國的半導體材料出口管制，已經過去將近三年。在這三年間，韓國的半導體材料國產替代進度到底如何了？他們又做出了哪些行動？

對日依賴難以擺脫，上游設備、材料受制約

根據韓國貿易協會在2019年的報告，日本實施出口管制的三種半導體材料氟化氫、氟聚酰亞胺、光刻膠，韓國對其的依賴度分別為93.7%、91.9%、43.9%。而其中依賴度較低的光刻膠，實際上韓國大量從比利時進口的光刻膠，是由日本公司JSR的比利時子公司生產的，因此當時韓國光刻膠對日本公司依賴度其實超過80%。

很快，就在日本宣布出口限制的一個月后，韓國政府宣布了一項計劃，短期內政府以供需風險較大的20個項目為主，爭取在1年內實現自主生產以及實現進口來源多元化。同時在中長期計劃中，未來7年內對其余80個核心戰略項目投入7.8萬億韓元（約400億人民幣）以上研發資金，支持韓國本土企業并購、引進海外技術等，目標在5年內實現相關戰略項目產品穩定供應。

而經過這些措施，韓國政府表示，100個戰略項目對日本的依賴度從2019年12月的30.9%下降了6%，至2021年12月的為24.9%。同期，韓國氟化氫進口量從3630萬美元縮減至1250萬美元，對日本氟化聚酰亞胺的依賴甚至接近于零。

不過，這只是一面之詞，因為韓國政府所提到的100個戰略項目產品，一直沒有公開過具體名單，而實際情況可能并沒有對外宣稱的看起來那么美好。根據日媒援引的數據顯示，2021年前6個月，韓國從日本進口的氟化聚酰亞胺反而同比增長15%，達到4430萬美元。

同時，韓國國際經濟政策研究所在去年的報告中也表示，韓國半導體產業依然嚴重依賴日本。2020年韓國從日本進口的半導體材料占總進口量的38.5%，而第二大半導體材料進口來源是中國（20.5%）、其余分別為美國（11.3%）、中國臺灣（8.3%）、越南（4.1%）。

除了半導體材料之外，日本還是韓國最大半導體設備進口國。同期韓國從日本進口的半導體設備金額為30.1億美元，其次是美國的16.9億美元、新加坡的15.3億美元。

無論如何，如今日本依然是全球最大的半導體材料出口國，光掩膜版、光刻膠、高純度氟化氫等在全球市場中占比都超過70%。雖然目前韓國企業在半導體材料國產替代上都開始大量投入，但要完全擺脫對日本的依賴恐怕在短期內依然不太可能實現。

韓國國產替代穩步推進

在2019年7月日本實施對韓國的出口管制后，主要的影響是韓國不再享有日本出口戰略物資和重要技術時簡化手續的優待措施，也就是出口審查時間被延長至約3個月。由于高純度氟化氫具有強腐蝕性，保存時間很短，且韓國企業對于上游半導體材料的庫存一般是1-2個月，所以在當時日本半導體材料出口限制對韓國半導體行業造成了很大影響。

于是尋找氟化氫的替代供應商成為了當時韓國半導體行業的重點工作。很快，他們將目光投向中國、俄羅斯等，LG顯示、SK海力士等都傳出正在測試中國產氟化氫的消息。僅2個月后，在2019年9月SK海力士宣布其位于中國無錫的半導體工廠已經完全使用中國生產、韓國提純的氟化氫取代日本產品。

而LG顯示也在同時間宣布完成對韓國本土生產的高純度氟化氫測試，符合產量和成本要求，并開始在OLED面板產線上使用。不過相比與半導體芯片，顯示面板生產中所使用的氟化氫純度要求相對較低，也更容易完成替代。

SK Materials在2020年6月，宣布實現99.999%（5N）高純度的氟化氫氣體量產，這個時間節點剛好是日本對韓實施出口管制一周年。另一家韓國化工企業SoulBrain在更早前就宣布，將在韓國國內設立高純度氟化氫工廠，生產純度達到99.99999999%（10N）的氟化氫，并將雜質降低至萬億分之一。據了解，Soul Brain是國內氟化氫供應商多氟多的長期客戶，在今年雙方剛簽訂了新的長期采購協議，并預付了2.37億元的預付款。但SoulBrain具體現在有沒有實現10N級氟化氫量產，目前還未找到相關公開資料。

不過，單從純度來看，韓國依然無法產出與日本相同品質的氟化氫產品，以森田化學為例，他們所供應的氟化氫純度可以高達99.9999999999%（12N）。據業內人士介紹，氟化氫的純度每高萬分之一，對于DRAM芯片而言在制造過程中的精準度就會提高0.1%，可以提高良率和降低生產成本。

除了氟化氫之外，去年年底韓國光刻膠供應商Dongjin Semichem宣布，與三星電子合作研發的EUV光刻膠，通過了三星電子的可靠性測試。三星電子在近兩年時間中投資了9家半導體材料和設備相關公司，包括半導體測試設備、晶圓清洗設備、氟化氫、封裝用陶瓷、掩膜版等，總投資金額近2800億韓元（約14.5億人民幣）。其中，近日有消息稱，三星顯示開始嘗試導入韓國國產的OLED金屬掩膜，而此前OLED用的精細金屬掩膜（FMM）是由日企DNP（大日本印刷）占據壟斷地位。

今年2月，韓國石化和電子材料制造商Jaewon Industrial宣布實現了丙二醇甲基醚乙酸酯（PGMEA）的商業化，PGMEA是半導體制造中常用的溶劑，比如在EUV曝光過程中，清洗沒有光敏反應的部件上的光刻膠，而EUV工藝需要純度為99.999%以上的PGMEA。Jaewon Industrial預計在今年上半年，自產PGMEA可以被用于EUV工藝中，未來每年可以減少約1000億韓元（約5億人民幣）的進口溶劑。

另外，由于俄烏沖突造成的氖氣等電子特種氣體供應緊張，韓國電子特氣廠商TEMC表示近期完成了高純度氖氣生產設備的安裝，設計年產能約22000標準立方米，相當于韓國需求的16%，下半年開始供應。

寫在最后

面對其他國家的出口管制，中國可能是最有發言權的了，近幾年海外針對我國高科技行業的制裁、出口管制等層出不窮。與韓國類似的是，中國并不缺芯片設計技術的能力，而是上游材料、設備、設計軟件等對外的嚴重依賴。而整個半導體產業鏈是高度垂直分工的，因此整體發展需要全產業鏈的協同，上游材料和設備等發展，需要下游制造企業的支持。比如像三星電子與Dongjin Semichem合作研發光刻膠的模式，就是由三星電子提供測試環境。

好消息是，中國擁有足夠大的市場需求，經過近10年的發展，在半導體材料部分細分領域上，比如中國唯一通過ASML認證的氣體公司華特氣體、靶材供應商江豐電子等等，已經能夠跟上國際同期領先水平。當然，這距離半導體全產業鏈國產替代，依然有很長的路要走。