中北大學微納加工中心依托動態測試技術省部共建國家重點實驗室(培育基地)、儀器科學與動態測試教育部重點實驗室、微納慣性傳感與集成測量教育部工程研究中心、山西省微米納米工程技術研究中心等科研機構及中北大學儀器與電子學院科研團隊,中心形成了完整的微/納器件設計、加工、測試研發平臺,在國內高校中處于先進水平。
中心占地面積1000平方米,擁有凈化面積達500平方米的4英寸MEMS工藝線,配置了國際一流的微納加工、測試、封裝設備,具備硅基MEMS矢量水聽器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計、熱電堆紅外探測器等全套工藝加工能力,可為國內外同行提供微納器件研發、工藝代工、工藝測試等技術服務。
中北大學微納加工中心,熱忱歡迎有需求的客戶來電咨詢并開展技術合作!
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原文標題:合作 | 中北大學微納加工中心4英寸MEMS工藝線
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