光刻技術(shù)

在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，光刻機(jī)是關(guān)鍵設(shè)備，而光刻則是必不可少的核心環(huán)節(jié)。光刻技術(shù)的精度水平?jīng)Q定了芯片的性能強(qiáng)弱，也代表了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的完善程度。我們國(guó)內(nèi)一直希望在這方面取得領(lǐng)先的地位，但是結(jié)果卻不盡人意。

其實(shí)光刻機(jī)之所以這么難造，就是因?yàn)楣饪碳夹g(shù)實(shí)在是太復(fù)雜了，不僅需要頂尖的光源條件，還對(duì)精度有著近乎苛刻的要求。目前，全球光刻技術(shù)市場(chǎng)基本上被美日兩國(guó)壟斷了，而我們國(guó)內(nèi)正在努力攻克其中的技術(shù)難點(diǎn)。

那么光刻到底是一項(xiàng)怎樣的工作呢？為什么能難倒這么多國(guó)家？大家都知道，芯片的襯底是半導(dǎo)體晶圓，而光刻就是在晶圓上制備芯片的第一步。在光刻過(guò)程中，有一項(xiàng)非常重要的材料，名為光掩膜，沒(méi)有它也就無(wú)法將集成電路刻畫(huà)在晶圓上。

而且光掩膜也有高中低端的層次之分，通過(guò)高端光掩膜生產(chǎn)出的芯片更加先進(jìn)，而低端的就只能用于生產(chǎn)普通芯片了。顯然，高端光掩膜也是各個(gè)國(guó)家青睞的對(duì)象，但是這種材料的制備難度非常高，如果精度達(dá)不到要求，那么想要突破絕非易事！

就目前的情況來(lái)看，國(guó)內(nèi)在光掩膜市場(chǎng)還對(duì)國(guó)外進(jìn)口存在一定的依賴，但是隨著中科院的突破，這種依賴正在慢慢減輕，以后將會(huì)徹底消失。那么如今國(guó)內(nèi)的光刻技術(shù)到底達(dá)到了何種水平呢？

國(guó)產(chǎn)水平

在討論這個(gè)問(wèn)題之前，我們先來(lái)看看中科院傳出的消息，它被很多人過(guò)分甚至是錯(cuò)誤解讀了。今年7月份，中科院發(fā)表了一篇論文，研究?jī)?nèi)容是5nm光刻制備技術(shù)，而大部分人都以為這標(biāo)志著中科院突破到了最先進(jìn)的5nm極紫外光刻技術(shù)。

但是事實(shí)卻并非如此，據(jù)后來(lái)該論文的通訊作者劉前在接受媒體采訪時(shí)表示，中科院研究的5nm光刻制備技術(shù)針對(duì)的是光掩膜的生產(chǎn)，而不是光刻機(jī)用到的極紫外光。也就是說(shuō)，中科院發(fā)表論文不等同于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)達(dá)到了5nm水平。

對(duì)此，很多國(guó)人都在想，難道國(guó)產(chǎn)5nm光刻技術(shù)不存在？從某種意義上來(lái)說(shuō)，現(xiàn)在這個(gè)問(wèn)題的答案是肯定的，國(guó)產(chǎn)5nm確實(shí)還遙遙無(wú)期。此外，中科院緊急辟謠：5nm光刻技術(shù)根本不現(xiàn)實(shí)，國(guó)產(chǎn)水平只有180nm！

從5nm一下子掉到180nm，這個(gè)落差讓很多人都接受不了。但需要知道的是，180nm才是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)的真實(shí)水平，就算不愿意承認(rèn)，也必須得面對(duì)。如果連自身的不足之處都無(wú)法面對(duì)，那么何談攻克技術(shù)難題？何談突破？

毫無(wú)疑問(wèn)，180nm還處于比較落后的狀態(tài)，這也是國(guó)產(chǎn)芯片遲遲無(wú)法崛起的主要原因。光刻技術(shù)作為光刻機(jī)的核心動(dòng)力，我們國(guó)內(nèi)肯定不會(huì)輕易放棄，現(xiàn)在是180nm不代表以后也是180nm，現(xiàn)在無(wú)法突破到5nm也不代表以后突破不了！

所以說(shuō)，我們應(yīng)該對(duì)國(guó)產(chǎn)技術(shù)和半導(dǎo)體芯片充滿信心，只有相信自己，才能不斷地自我突破。而且最近一段時(shí)間，國(guó)內(nèi)傳來(lái)了很多好消息，光刻技術(shù)也不急于一時(shí)。

舉個(gè)簡(jiǎn)單的例子，華為旗下的海思半導(dǎo)體正在轉(zhuǎn)型為IDM模式的企業(yè)，不僅要掌握芯片設(shè)計(jì)技術(shù)，還準(zhǔn)備進(jìn)軍芯片制造市場(chǎng)，成為像三星那樣的巨頭。此外，華為也宣布了全面布局光刻機(jī)的決定，有了它的加入，國(guó)產(chǎn)光刻技術(shù)將迎來(lái)更大的希望！

寫(xiě)在最后

一項(xiàng)技術(shù)就算再難也有一定的限度，但是科研人員的智慧是無(wú)限的，所以在國(guó)內(nèi)這么多科研工作者的共同努力下，再難的技術(shù)都會(huì)被攻克，光刻和光刻機(jī)也不例外。相信以后國(guó)內(nèi)一定能實(shí)現(xiàn)技術(shù)崛起的目標(biāo)，取得領(lǐng)先的地位！
責(zé)任編輯:tzh