11月30日最新報道，近日荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）又送來一則好消息，該司已經(jīng)與比利時半導體研究機構IMEC共同完成了1nm光刻機的設計工作。 據(jù)了解，先進制程的光刻機對于曝光設備的分辨率要求更高。與此同時，ASML已經(jīng)完成了0.55NA曝光設備的基本設計工作。按照阿斯麥的計劃，預計相應的曝光設備全線準備好之后，會在2022年實現(xiàn)商業(yè)化。

然而，這家荷蘭企業(yè)的光刻機制造技術卻變得重大突破之際，我國芯片制造巨頭——中芯國際自阿斯麥訂購的EUV光刻機至今卻還未到貨。據(jù)悉，中芯國際于2018年自阿斯麥（ASML）手上購買了一臺價值約1.2億美元（折合約7.9億元人民幣）的EUV光刻機。 由于訂購的設備一直沒到手，中芯國際也在11月11日當天下調(diào)了一部分資本支出，將原本約457億元的開支計劃減少了55億元至約402億元。那么，之后中芯國際有沒有可能徹底取消這筆買賣呢？恐怕還不好說，畢竟當前全球能造出EUV光刻機的僅有阿斯麥一家。

不過，中企也很有可能從韓國身上找到“轉(zhuǎn)機”。據(jù)韓國媒體11月16日報道，韓國知識產(chǎn)權局（KIPO）發(fā)布的報告顯示，經(jīng)過長達10年的發(fā)展與鉆研（2011－2020年），該國EUV光刻專利已經(jīng)高達193項。而在此之前，全球光刻市場是美國企業(yè)Cymer公司“一家獨大”。

要知道，當前韓國電子巨頭三星正盼能從我國半導體市場“分得一塊蛋糕”。據(jù)悉，11月12日當天，三星首次面向我國發(fā)布了芯片產(chǎn)品——Exynos1080，還宣布將向我國智能手機制造巨頭vivo供應5nm高端芯片。 來源：TechWeb網(wǎng)站

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原文標題：重磅 | 荷蘭巨頭1nm光刻機迎新突破！中國訂購的EUV光刻機呢？

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