作者｜Lee 校對(duì)｜范蓉

集微網(wǎng)消息，9月17日，2020第23屆中國(guó)集成電路制造年會(huì)暨廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇盛大開(kāi)幕。上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司執(zhí)行副總裁周衛(wèi)平發(fā)表了以《雙核引擎 綠色智造 贏芯未來(lái)》為主題的演講。

“8+12”、“IC+Power”雙核引擎 華虹集團(tuán)是以集成電路制造為主業(yè)，擁有8+12英寸生產(chǎn)線先進(jìn)工藝技術(shù)的企業(yè)集團(tuán)。華虹集團(tuán)旗下華虹宏力是全球領(lǐng)先的特色工藝純晶圓代工企業(yè)。周衛(wèi)平表示，華虹宏力立足于8英寸+12英寸、“IC+Power”發(fā)展戰(zhàn)略，通過(guò)這兩個(gè)引擎推動(dòng)業(yè)務(wù)發(fā)展壯大，實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)增量。 據(jù)周衛(wèi)平介紹，華虹集團(tuán)在全球集成電路晶圓代工廠商的排名中，從2016年的第七名，晉升至2017年的第六名，2019年首次進(jìn)入第五名。 “在制造基地布局方面，華虹集團(tuán)的8英寸產(chǎn)能主要在金橋基地和張江基地，目前8英寸的合計(jì)月產(chǎn)能是17.8萬(wàn)片，而12英寸的月產(chǎn)能是6萬(wàn)8千片。”周衛(wèi)平表示，在過(guò)去的一年中，華虹集團(tuán)12英寸的產(chǎn)能獲得了較大提升。

全球第一座12英寸功率器件代工廠 華虹無(wú)錫項(xiàng)目是華虹集團(tuán)融入長(zhǎng)三角一體化、高質(zhì)量發(fā)展戰(zhàn)略，在上海市域以外，長(zhǎng)三角布局的第一個(gè)研發(fā)制造基地。得益于華虹集團(tuán)的一體化戰(zhàn)略，依托華虹“全集團(tuán)統(tǒng)籌資源，大兵團(tuán)作戰(zhàn)部署”的戰(zhàn)略，發(fā)揮“8+12”的集群優(yōu)勢(shì)，一期項(xiàng)目（華虹七廠）飛速建成投片，成為全球首條12英寸功率器件的代工生產(chǎn)線，也是目前中國(guó)大陸最先進(jìn)的12英寸特色工藝生產(chǎn)線。

“華虹七廠不是一個(gè)孤立的12英寸生產(chǎn)線，它是華虹宏力8英寸特色工藝生產(chǎn)線的持續(xù)延伸，確保公司在未來(lái)能夠保持高水準(zhǔn)的服務(wù)和豐富的產(chǎn)品線供應(yīng)，滿足客戶對(duì)技術(shù)成長(zhǎng)的需求。”周衛(wèi)平指出：“我們順應(yīng)了天時(shí)、地利和人和，在目前的營(yíng)商環(huán)境、政策資金優(yōu)勢(shì)，中國(guó)市場(chǎng)正在壯大的優(yōu)勢(shì)，以及我們員工、客戶、供應(yīng)鏈、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展的背景下，得益于這些要素，我們獲得了快速成長(zhǎng)。” 對(duì)于華虹無(wú)錫12英寸項(xiàng)目的特點(diǎn)，周衛(wèi)平用了四個(gè)“快”來(lái)總結(jié)。第一個(gè)快是建設(shè)速度特別快，華虹無(wú)錫項(xiàng)目于2017年8月舉行簽約儀式，2018年4月項(xiàng)目正式開(kāi)工建設(shè)，2019年6月首批光刻機(jī)搬入，2019年9月17日工藝通線、生產(chǎn)線建成投片。從開(kāi)工建設(shè)到建成投片僅用了17個(gè)月，華虹七廠刷新了業(yè)界建線“芯”速度。

第二個(gè)快是迅速形成了產(chǎn)能，華虹七廠加快推進(jìn)產(chǎn)能建設(shè)和生產(chǎn)運(yùn)行，已形成一萬(wàn)片的月產(chǎn)能，即將形成兩萬(wàn)片產(chǎn)能。隨著市場(chǎng)的向好，公司加快了12英寸產(chǎn)線的產(chǎn)能的擴(kuò)進(jìn)度張，“8+12”齊頭并進(jìn)，未來(lái)將提供更多的產(chǎn)能。 第三個(gè)快是研發(fā)速度快，華虹宏力把握到了“閉門(mén)研發(fā)、快速上量”的最佳時(shí)機(jī)。面對(duì)突如其來(lái)的疫情，研發(fā)攻堅(jiān)不停步，集中精力突破多種工藝平臺(tái)，研發(fā)速度也大幅提升。 第四個(gè)快是快速量產(chǎn)銷售，華虹七廠自2019年9月17日啟動(dòng)投片儀式后，邏輯射頻、嵌入式閃存、功率器件、圖像傳感器陸續(xù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品交付，產(chǎn)能提升速度遠(yuǎn)超預(yù)期，2020年8月華虹七廠的月投入達(dá)到了一萬(wàn)片。 在質(zhì)量體系建設(shè)方面，周衛(wèi)平指出，華虹七廠順利取得ISO 90001、ISO 27001認(rèn)證，標(biāo)志著華虹無(wú)錫質(zhì)量和信息安全管理體系建設(shè)邁上新臺(tái)階。除此以外，汽車質(zhì)量管理體系認(rèn)證，有害物質(zhì)認(rèn)證以及其它安全環(huán)保認(rèn)證預(yù)計(jì)都能在今年內(nèi)完成。

持續(xù)深耕的全球功率器件領(lǐng)導(dǎo)者 周衛(wèi)平表示，功率器件應(yīng)用廣泛，應(yīng)用領(lǐng)域包括電動(dòng)車、LED照明、云計(jì)算、新能源汽車以及綠色能源輸變電等，市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。華虹宏力已經(jīng)成為IGBT領(lǐng)域的頭部代工廠乃至于全球功率器件領(lǐng)導(dǎo)者，未來(lái)還將持續(xù)深耕于功率器件領(lǐng)域。 回顧華虹宏力在功率器件領(lǐng)域的發(fā)展歷程，2002年華虹宏力成立了國(guó)內(nèi)第一條8英寸Trench MOSFET代工生產(chǎn)線，2011年，其第一代深溝槽超級(jí)結(jié)技術(shù)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，同時(shí)第一條8英寸IGBT代工生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，2020年12英寸功率器件已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

“華虹宏力在功率器件領(lǐng)域是國(guó)內(nèi)乃至于東南亞地區(qū)的最大的供貨者。”周衛(wèi)平表示，特別是在由超級(jí)結(jié)SJ和IGBT組成的高端功率器件占比快速上升，在2015年至2019年的銷售額以及出貨量的年復(fù)合增長(zhǎng)率超過(guò)了50%。 在IGBT領(lǐng)域，華虹宏力是國(guó)內(nèi)布局最早、最完善、最完整的全套IGBT薄晶圓背面加工工藝的企業(yè)，擁有業(yè)績(jī)最先進(jìn)的氫注入設(shè)備。

在超級(jí)結(jié)SJ領(lǐng)域，華虹宏力擁有自主獨(dú)立的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用深溝槽的工藝方案，形成獨(dú)創(chuàng)的超級(jí)結(jié)MOSFET技術(shù)，引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展創(chuàng)新，其功率密度、導(dǎo)通電阻等都達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平。 華虹宏力在功率器件制造領(lǐng)域擁有341項(xiàng)發(fā)明專利，其中有美國(guó)發(fā)明專利18項(xiàng)。 據(jù)介紹，華虹宏力代工的功率器件主要有三大類，第一類是DMOS/SGT，華虹宏力擁有多種工藝集成，比如溝槽、MOS管、底部厚柵MOS管，上下結(jié)構(gòu)和左右結(jié)構(gòu)的SGT管，并且有豐富的選擇，在功率器件中集成各類的電路。 第二類是超級(jí)結(jié)SJ，也是華虹的獨(dú)創(chuàng)技術(shù)，與國(guó)際最主流的結(jié)構(gòu)完全不一樣，但性能卻可以形成抗衡，在過(guò)去幾年中，超級(jí)結(jié)SJ的出貨量和成長(zhǎng)速度非常可觀。

第三類是IGBT，華虹宏力是國(guó)內(nèi)IGBT出貨量最大的8英寸代工廠，并朝著縮小IGBT尺寸，飽和壓降不斷降低以及電流密度持續(xù)提高的方向持續(xù)深耕。華虹的IGBT業(yè)務(wù)從2014年起實(shí)現(xiàn)了快速增長(zhǎng)。 在新能源汽車、風(fēng)力發(fā)電、白色家電等市場(chǎng)需求的驅(qū)動(dòng)下，超級(jí)結(jié)SJ和IGBT市場(chǎng)都將迎來(lái)快速成長(zhǎng)期。周衛(wèi)平表示：“我們會(huì)充分發(fā)揮12英寸更小線寬的特征，持續(xù)開(kāi)發(fā)優(yōu)化DMOS、SGT、超級(jí)結(jié)SJ、IGBT技術(shù)，加速進(jìn)軍高端功率器件的市場(chǎng)，8+12齊頭并進(jìn)，為客戶提供更為充足的產(chǎn)能，深化產(chǎn)業(yè)鏈的合作。” 華虹宏力通過(guò)差異化的競(jìng)爭(zhēng)，專注于嵌入式存儲(chǔ)器、功率器件、模擬電路、射頻以及傳感器等細(xì)分市場(chǎng)，立足綠色智造，全力響應(yīng)國(guó)家綠色發(fā)展戰(zhàn)略，提供高品質(zhì)的服務(wù)，實(shí)現(xiàn)環(huán)境友好和可持續(xù)發(fā)展。 周衛(wèi)平指出：“在細(xì)分市場(chǎng)，我們要立足世界領(lǐng)先，抓住機(jī)遇，把握‘8+12’戰(zhàn)略，做到人無(wú)我有，人有我精，融入長(zhǎng)三角一體化，深耕特色工藝，在物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、金融卡、MCU、高壓功率等領(lǐng)域重點(diǎn)突破，取得持續(xù)發(fā)展。”

原文標(biāo)題：周衛(wèi)平：立足“8+12”戰(zhàn)略，華虹宏力持續(xù)深耕功率器件領(lǐng)域

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