近日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發的12英寸中束流離子注入機順利發往某集成電路大產線，這臺由客戶直接采購的設備如期交付，標志著公司國產離子注入機市場化進程再上新臺階。

據介紹，離子注入機是將特定種類離子以指定參數注入至特定材料中的一種設備，執行的是核心的摻雜工藝。半導體要做成器件，要改變電性能，必須摻入雜質，離子注入機就是執行摻雜工藝的標準設備。“每一個器件生產過程中，需要進行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數對于不同器件類型和工藝節點有差異，例如對于28nm邏輯器件，注入次數約為40次。”爍科中科信公司技術總監張叢介紹說。

目前，國內集成電路離子注入設備市場幾乎被國外壟斷，國產設備市場份額小，爍科中科信是我國目前唯一的一家全系列集成電路離子注入機集研發、制造、服務于一體的供應商。在研發過程中，研發團隊攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統等離子注入機共性關鍵技術。中束流離子注入機突破了高精度束流角度控制、小發射度長壽命離子源等關鍵技術，大束流離子注入機則進一步突破了低能大流強束流傳輸與控制、支持十余種離子的大流強長壽命離子源等關鍵技術，高能離子注入機在高能（MeV）離子加速、高電荷態離子源等關鍵技術上實現了突破。

追平主流只是開始，成體系實現國產替代才是目標。“爍科中科信公司已形成全系列離子注入機產品體系，建立了符合SEMI標準要求的離子注入機產業化平臺，年產能達30臺，公司的產品廣泛應用于全球知名芯片制造企業，并獲客戶高度認可。”張叢說，公司自主研制的離子注入機系列產品還斬獲了北京市科學技術進步一等獎等多項榮譽，在客戶產線上累計跑片650萬片，穩定支撐了客戶量產。除此之外，還建立了一支專業化的售后服務團隊，實行7×24小時響應機制，持續提升客戶體驗，加速國產化進程。

公司負責人說，將進一步圍繞攻克核心關鍵技術持續發力，推進中束流和大束流離子注入機產業化，同時，緊跟先進工藝發展，開展適用于更先進工藝節點的離子注入機的研發工作，并不斷拓展離子注入機在新興領域的應用。