半導體裝備制造業是為我國集成電路和半導體器件行業提供工藝裝備的戰略性產業，是提升我國半導體產業制造能力的高端裝備制造產業，也是國家支持的重大技術裝備產業。中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠向《中國電子報》記者表示，目前我國光伏設備以及LED設備目前已經基本上全面本土化，集成電路設備目前相比較而言依賴于進口較多。如今，如何快速發展本土半導體設備也成為人們關注的焦點。

中國半導體設備產業繼續保持快速增長

半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。近年來，中國半導體設備產業發展迅速，市場規模逐步擴大。據金存忠介紹，在2019年，中國半導體設備繼續保持快速增長，根據中國電子專用設備工業協會對國內47家規模以上（半導體設備年銷售收入500萬元以上）半導體設備制造商2019年完成的主要經濟指標統計顯示：半導體設備銷售收入完成161.82億元，同比增長30％；半導體設備出口貨值完成16.35億元，同比增長2.6%；半導體設備制造商實現總利潤（含所有產品）27.13億元，同比增長26.7%。此外，2016年—2019年中國半導體設備制造商銷售收入年均增長41.3％，實現總利潤年均增長23.5％，出口貨值年均增長27.8％。

此外，目前我國集成電路和光伏設備訂單增長較快，在2019年訂單基本處于飽和狀態的基礎上，今年上半年依然保持良好。同時，SEMI數據顯示，2019年中國內地半導體設備市場規模達到134.5億美元，占比全球半導體設備市場的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整個半導體產業萎縮、全球半導體設備銷售額下降7%的大背景下，中國半導體設備市場需求仍然保持3%的增長。可見中國半導體設備市場規模之龐大。

高端設備產業發展面臨三大問題

與此同時，由于集成電路設備產業具備極高的門檻和壁壘，國產集成電路設備依然面臨著種種挑戰。金存忠介紹，目前中國集成電路設備產業主要面臨著三大問題。首先，目前國產集成電路設備市場占有率較低。2019年中國集成電路設備在中國內地市場占有率僅為10%左右。

其次，中國集成電路晶圓生產關鍵設備（如光刻機）仍需依賴于進口，14nm制程國產集成電路晶圓生產設備2019年剛剛進入產線量產，落后2019年國際先進的5納米量產生產線設備二代以上。此外，一些已進入晶圓量產生產線的國產設備中，有些設備與國際同類設備相比依然存在差距。

最后，目前國產半導體設備關鍵部件本地化進程緩慢，進口依賴度較大，集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手（潔凈、真空）、高溫加熱裝置（溫控器）、射頻電源、真空閥門等。

產業處于較好市場環境廠商將提速擴產

然而，隨著我國半導體產業制造能力的提升，在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發展機遇。金存忠認為，2019年國產集成電路晶圓生產線設備產業化發展迅速，集成電路晶圓生產線主要核心工藝設備已達到14納米量產水平，并且，中微半導體設備（上海）有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過了生產線的驗證。據預計，2020年國產集成電路設備銷售收入將增長50%左右。

其次，平價上網的到來給太陽能電池設備也帶了很多新的發展機遇。2019年是太陽能發電平價上網的元年，先進的PRCE晶硅太陽能電池片生產線設備受到市場的追捧成為光伏企業擴產的選擇，全自動、智能化、大產能單晶硅生長和切片設備銷售也得到快速增長。2019年國產太陽能電池片生產設備銷售收入將繼續保持增長態勢，同比增長40%。

最后，金存忠預測，盡管受疫情影響，2020年第一季度半導體設備銷售情況一般，但是集成電路設備和太陽能電池片制造設備市場增長趨勢沒有改變，預計2020年中國主要半導體設備制造商銷售收入將達200億元左右，同比增長20%左右。此外，金存忠認為，2020年國內集成電路設備行業將處于較好的市場環境，中國內地本土集成電路晶圓廠將擴產提速，國產裝備將在2020年進入較快發展時期。預計2020年集成電路生產設備將增長30%左右，銷售收入將超過太陽能電池片生產設備，達到90億元以上。