據悉，由于新型冠狀病毒疫情影響，作為全球唯一一家生產EUV光刻機的制造商荷蘭ASML公司很難將設備出口，將導致三星原本向荷蘭ASML訂購EUV光刻機出口交貨受影響，進而造成其5nm技術應用部署將因此延后。

業內人士表示，荷蘭ASML設備交付影響了三星、臺積電這兩家巨頭的研發、生產進度，其中三星遭受的損失會更大。

由于臺積電在去年便擴大采購ASML旗下EUV光刻機，采購占比幾乎高達ASML總出貨量的一半以上，并且計劃應用在今年第二季大規模量產的5nm工藝產品，其中包含華為、高通、AMD，以及蘋果旗下新款處理器，雖然整體多少還是受到疫情影響，但臺積電強調5nm工藝技術影響程度不大，僅接下來的3nm工藝試產可能會有延后情況。

而三星方面雖然也進入5nm工藝技術應用布局，但主要還是先聚焦在DRAM在內內存產品，加上先前EUV光刻機訂購數量相對較少，目前更因疫情影響設備交貨時程，使得三星在5nm工藝技術用于處理器產品量產腳步將面臨落后。

臺積電在5nm競賽上領 先三星，因此這種由于疫情導致的計劃推遲使得三星與臺積電的差距會越來越大，這樣導致的結果是三星公司幾乎不可能從蘋果、高通等巨頭那里獲得訂單支持。

另一方面，臺積電計劃在2020年第二季度為蘋果、華為、AMD生產5nm芯片，而三星尚未提供大規模量產5nm工藝的詳細時間表，二者的差距有望進一步擴大。

另外，市場也有消息指稱蘋果已經向臺積電預訂大量5nm工藝技術產能，預期將會用于新款A14處理器量產，并且將應用在今年下半年準備推出的iPhone12系列手機，甚至蘋果還一度要求預訂臺積電今年第四季的5nm工藝技術產能，因此有可能影響其他諸如華為、高通及AMD處理器產品生產比例。

不過，其他消息也指稱華為取消原本向臺積電預訂的5nm工藝技術產能。

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